HAXPESによるオージェピークの重複を回避した評価(B0273)

Ga線(HAXPES)およびAl線・Mg線(XPS)測定によるスペクトル比較

概要

HAXPESでは励起光に硬X線(Ga線)を用いており、通常のXPS測定で用いられるAl線・Mg線とはオージェピークの位置が異なります。そのため、Al線・Mg線測定において光電子ピークとオージェピークが重複した試料でも、Ga線測定ではその重複を回避でき、詳細な結合状態評価が可能です。
本資料では、Ga線(HAXPES搭載)およびAl線・Mg線(XPS搭載)で測定した、コバール(Fe,Ni,Coの合金)およびGaNのスペクトルを紹介します。

事例1 コバール(Fe,Ni,Coの合金)

■Ga線(9.25keV, HAXPES) :ピークの重なりが無く、詳細な評価が可能


Ga線(9.25keV, HAXPES) :ピークの重なりが無く、詳細な評価が可能


■Al線(1.49keV, XPS):Fe,Coの酸化物ピーク位置に、Co・Ni, Feオージェピークが重なる


Al線(1.49keV, XPS):Fe,Coの酸化物ピーク位置に、Co・Ni, Feオージェピークが重なる


■Mg線(1.25keV, XPS):OにCoオージェピークが近接する


Mg線(1.25keV, XPS):OにCoオージェピークが近接する

事例2 GaN

Ga線を用いたHAXPESでは、オージェピークの重複回避に加え、表面酸化・表面有機汚染の影響が少ない測定が可能です。(※Ga線O1sおよびC1s参照)
これはAl線・Mg線の検出深さが~8nmであるのに対し、HAXPESの測定深さが~50nm程度となるためです。

■Ga線(9.25keV, HAXPES):ピークの重なりが無く、詳細な評価が可能


Ga線(9.25keV, HAXPES):ピークの重なりが無く、詳細な評価が可能


■Al線(1.49keV, XPS):NにGaオージェピークが重なる


Al線(1.49keV, XPS):NにGaオージェピークが重なる


■Mg線(1.25keV, XPS):CにGaオージェピークが重なる


Mg線(1.25keV, XPS):CにGaオージェピークが重なる

オージェピークの重複を回避したスペクトルが取得できます。

Niに重複するFオージェピーク、Mnに重複するNiオージェピーク(二次電池正極他)等の回避も可能です。
(関連資料:C0659)


二次電池正極の結合状態評価(C0659)の
分析事例はこちらからご覧ください。

MST技術資料No.B0273
掲載日2021/11/25
測定法・加工法[XPS]X線光電子分光法
[HAXPES]硬X線光電子分光法
製品分野パワーデバイス
電子部品
太陽電池
二次電池
燃料電池
製造装置・部品
分析目的組成評価・同定
化学結合状態評価

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