剥離原因となる金属界面の有機物評価(B0285)

TOF-SIMSで金属界面の有機物を深さ方向に評価できます

概要

金属界面の有機物は密着不良や剥がれの原因となります。その密着不良の分析には、物理的に剥離加工を行い、剥離した面について定性分析を行うことが有効です。(参照:分析事例C0198)。一方、剥離加工ができない場合も多く、その場合にはスパッタイオン源を用いて深さ方向に分析をすることが有効です。
本資料では、金属界面における薄膜もしくは二次汚染程度の有機物を深さ方向に定性分析した事例を紹介します。結論としてC系のイオンを確認することで有機物の存在を確認することができました。
また、成分がわかっている標準品と比較することで有機物を同定できる場合もあります。

サンプルメイクと測定

データ

粘着シート表面のマススペクトルを図1に示します。C3H3O2イオンなどが特徴的に検出されました。

図1. 粘着シート表面のマススペクトル

金(Au)表面からSi金属が露出するまで深さ方向測定を行いました(図2)。図3にデプスプロファイルを示します。界面からC2イオンが高感度で検出されました。また、粘着シート起因のC3H3O2イオンも検出されました。剥離困難な金属界面の有機物評価はTOF-SIMSによる深さ方向分析で評価できる場合があります。

図3. TOF-SIMSによるデプスプロファイル			

※有機物だけではなく、グラフェン、グラファイト、アモルファスカーボンでもC系のイオンは検出されます。

MST技術資料No.B0285
掲載日2022/11/10
測定法・加工法[TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法
製品分野LSI・メモリ
パワーデバイス
光デバイス
電子部品
製造装置・部品
酸化物半導体
分析目的故障解析・不良解析
不純物評価・分布評価

関連する分析事例

イメージ 掲載日 タイトル 測定法・加工法 製品分野 分析目的
無アルカリガラス中の金属不純物の定性と定量評価 2024/07/18 無アルカリガラス中の金属不純物の定性と定量評価(B0303) [SIMS]二次イオン質量分析法
[TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法
LSI・メモリ
電子部品
製造装置・部品
酸化物半導体
微量濃度評価
不純物評価・分布評価
セラミックスのぬれ性原因評価 2023/12/28 セラミックスのぬれ性原因評価(C0705) [TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法
製造装置・部品
組成評価・同定
セラミックス表面における洗浄成分の分布評価 2023/12/28 セラミックス表面における洗浄成分の分布評価(C0704) [TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法
製造装置・部品
日用品
その他
化学結合状態評価
組成分布評価
故障解析・不良解析
セラミックスの変色原因評価 2023/12/21 セラミックスの変色原因評価(C0703) [TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法
製造装置・部品
組成分布評価
撥水箇所の成分分析 2023/02/02 撥水箇所の成分分析(C0686) [TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法
LSI・メモリ
パワーデバイス
光デバイス
電子部品
照明
ディスプレイ
製造装置・部品
酸化物半導体
高分子材料
日用品
組成分布評価
不純物評価・分布評価
光ファイバーのコアとクラッドの定性評価 2023/01/26 光ファイバーのコアとクラッドの定性評価(C0685) [TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法
その他
電子部品
高分子材料
その他
組成分布評価
不純物評価・分布評価
その他
剥離原因となる金属界面の有機物評価 2022/11/10 剥離原因となる金属界面の有機物評価(B0285) [TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法
LSI・メモリ
パワーデバイス
光デバイス
電子部品
製造装置・部品
酸化物半導体
故障解析・不良解析
不純物評価・分布評価
脂質のイメージング 2022/07/28 脂質のイメージング(C0674) [TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法
[MALDI-MS] マトリックス支援レーザー脱離イオン化質量分析法
バイオテクノロジ
医薬品
組成分布評価
表面分析による品質管理 2021/09/09 表面分析による品質管理(C0660) [TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法
電子部品
製造装置・部品
その他
化学結合状態評価
故障解析・不良解析
二次電池セパレータの構造評価 2021/08/12 二次電池セパレータの構造評価(C0604) [TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法
[XPS]X線光電子分光法
[SEM]走査電子顕微鏡法
[SEM-EDX]エネルギー分散型X線分光法(SEM)
[FT-IR]フーリエ変換赤外分光法
[XRD]X線回折法
[TG-DTA-MS]示差熱天秤-質量分析法
[IP法]Arイオン研磨加工
雰囲気制御下での処理
二次電池
組成評価・同定
化学結合状態評価
組成分布評価
形状評価
構造評価
製品調査

分析のご相談・お申し込み

知識豊富な営業担当が、最適な分析プランをご提案。
分析費用のお見積りもお気軽にお問い合わせください。
相談・お申し込みは、専用のフォームかお電話でどうぞ。

webからのお問い合わせはこちら

分析お問い合わせフォーム

お電話からのお問い合わせはこちら

ページトップへ