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分析事例一覧

イメージ	掲載日	タイトル	測定法・加工法	製品分野	分析目的
	2021/08/12	二次電池セパレータの構造評価(C0604)	［TOF-SIMS］飛行時間型二次イオン質量分析法［XPS］X線光電子分光法［SEM］走査電子顕微鏡法［SEM-EDX］エネルギー分散型X線分光法（SEM）［FT-IR］フーリエ変換赤外分光法［XRD］X線回折法［TG-DTA-MS］示差熱天秤-質量分析法［IP法］Arイオン研磨加工雰囲気制御下での処理	二次電池	組成評価・同定化学結合状態評価組成分布評価形状評価構造評価製品調査
	2020/07/09	二次電池正極活物質の総合評価(C0607)	［TOF-SIMS］飛行時間型二次イオン質量分析法［ICP-MS］誘導結合プラズマ質量分析法［SEM］走査電子顕微鏡法［SEM-EDX］エネルギー分散型X線分光法（SEM）［EBSD］電子後方散乱回折法［(S)TEM］（走査）透過電子顕微鏡法［XRD］X線回折法［SSRM］走査型広がり抵抗顕微鏡法	二次電池	組成評価・同定化学結合状態評価組成分布評価形状評価構造評価製品調査
	2020/05/06	AES・SEM-EDXによるCu表面変色部の評価(C0451)	［AES］オージェ電子分光法［SEM］走査電子顕微鏡法［SEM-EDX］エネルギー分散型X線分光法（SEM）	LSI・メモリ電子部品製造装置・部品	組成評価・同定組成分布評価
	2019/08/29	電子デバイス内特異箇所の複合解析(C0572)	［SEM］走査電子顕微鏡法［SEM-EDX］エネルギー分散型X線分光法（SEM） X線CT法［FIB］集束イオンビーム加工	電子部品	構造評価故障解析・不良解析製品調査
	2015/03/05	シリコンウェハ上の汚染原因調査(C0110)	［TOF-SIMS］飛行時間型二次イオン質量分析法［XPS］X線光電子分光法［SEM-EDX］エネルギー分散型X線分光法（SEM）	LSI・メモリ電子部品	組成評価・同定化学結合状態評価組成分布評価
	2012/11/08	リチウムイオン二次電池　電極材料の評価(C0272)	［SEM］走査電子顕微鏡法［SEM-EDX］エネルギー分散型X線分光法（SEM）［IP法］Arイオン研磨加工雰囲気制御下での処理	二次電池	組成評価・同定形状評価劣化調査・信頼性評価製品調査
	2012/11/08	リチウムイオン二次電池　セパレータの評価(C0273)	［SEM］走査電子顕微鏡法［SEM-EDX］エネルギー分散型X線分光法（SEM）［IP法］Arイオン研磨加工クライオ加工	二次電池	組成評価・同定形状評価膜厚評価劣化調査・信頼性評価製品調査
	2012/07/12	ソフトマテリアルの断面観察と元素分析(C0244)	［SEM］走査電子顕微鏡法［SEM-EDX］エネルギー分散型X線分光法（SEM）［FIB］集束イオンビーム加工クライオ加工	化粧品	組成分布評価形状評価製品調査
	2010/01/05	リチウム二次電池負極表面の劣化評価(C0157)	［XPS］X線光電子分光法［SEM］走査電子顕微鏡法［SEM-EDX］エネルギー分散型X線分光法（SEM）［(S)TEM］（走査）透過電子顕微鏡法［FIB］集束イオンビーム加工	二次電池	組成評価・同定化学結合状態評価形状評価
	2010/01/01	バンプの広域断面観察(C0089)	［SEM］走査電子顕微鏡法［SEM-EDX］エネルギー分散型X線分光法（SEM）［EBSD］電子後方散乱回折法［IP法］Arイオン研磨加工	電子部品	組成評価・同定組成分布評価形状評価構造評価製品調査
	2010/01/01	リチウムイオン二次電池材料の総合評価(C0124)	［XPS］X線光電子分光法［SEM］走査電子顕微鏡法［SEM-EDX］エネルギー分散型X線分光法（SEM）［(S)TEM］（走査）透過電子顕微鏡法［FT-IR］フーリエ変換赤外分光法［Raman］ラマン分光法	二次電池	組成評価・同定化学結合状態評価形状評価膜厚評価
	2010/01/01	照明用発光素子の総合評価(C0160)	［SIMS］二次イオン質量分析法［SEM］走査電子顕微鏡法［SEM-EDX］エネルギー分散型X線分光法（SEM）［(S)TEM］（走査）透過電子顕微鏡法［EMS］エミッション顕微鏡法	光デバイス照明	組成評価・同定微量濃度評価組成分布評価形状評価故障解析・不良解析製品調査

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