[Raman]ラマン分光法

Raman:Raman Spectroscopy

装置外観

特徴

Raman(ラマン分光法)は、入射光と分子との相互作用の結果、入射光の振動数が変化するという光散乱現象(ラマン効果)を利用し、分子中の構造についての情報を得る手法です。

  • 試料の分子構造や結晶構造に関する情報を得ることが可能
  • レーザー光を用いることにより、FT-IRよりも微小領域の測定に対応可能(ビーム径約1μm)

適用例

  • 異物の定性分析
  • カーボン膜の構造状態評価
  • Si酸化膜の構造状態評価
  • Siの歪み、結晶性評価
  • 樹脂の硬化度評価
  • 化合物半導体の結晶性評価

原理

励起光ν0に対して振動エネルギーに対応する波数νの異なった光が散乱される現象がラマン散乱です。
ラマン分光法では入射光と異なる波数νで放出されるストークスラマン光を検出してスペクトルを得ることで、分析試料に含まれる原子団の振動モードを同定し、結合状態に関する情報を得ることができます。

原理

データ例

ラマンスペクトル例

それぞれのピークは物質中の各原子団(基)の振動モードに対応した位置(波数)に現れます。

ラマンスペクトル例

ライブラリ検索例

ピークのパターンをライブラリのスペクトル(標準スペクトル)と比較することで、物質の同定が可能です。

ライブラリ検索例

データ形式

  • PDFファイル

仕様

搬入可能試料サイズ 200mm×300mm×15mm程度
測定可能領域 150mm×150mm×15mm程度
測定領域 約1μm Φ(対物レンズ×100)
倍率(対物レンズ) ×10,×50,×100

必要情報

  1. 目的/測定内容
  2. 試料情報
    (1)数量、予備試料の有無など
    (2)構造、形状、層構造、膜厚、パターンの有無、予想される物質など
    (3)注意事項
  3. 納期
    (1)速報納期
    (2)注意事項
  4. その他の留意点

注意点

  • 測定時にレーザーを照射するため、熱による損傷の可能性があります。
  • 材質によっては、強い蛍光が発生し、ラマンピークの取得が不可能な場合もあります。

[Raman]ラマン分光法の分析事例はこちらからご覧ください。

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てむぞう&ますみん

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