ソフトマテリアルの断面観察と元素分析(C0244)

クライオSEM観察-EDX分析で溶液試料の構造を直接評価

MST技術資料No.C0244
掲載日2012/07/12
測定法・加工法[SEM]走査電子顕微鏡法
[SEM-EDX]エネルギー分散型X線分光法(SEM)
[FIB]集束イオンビーム加工
クライオ加工
製品分野化粧品
分析目的組成分布評価
形状評価
製品調査

概要

熱に弱い有機材料や液体試料の内部構造を観察・分析するには、加工や電子線照射による温度上昇を抑え、試料本来の構造を保ったまま一連の分析を行う必要があります。
本事例では化粧品を評価サンプルとし、冷却環境を維持したまま断面FIB加工・SEM観察・EDX分析までの構造分析を行った事例をご紹介します。

データ

イメージ

特徴

  • 冷却環境で断面FIB加工とSEM観察を実施
    装置付属のEDX分析で元素評価も可能
  • 極低加速電圧での高分解能SEMを搭載し、変質を抑えた高精細(最高4096×3536pixels)な画像を取得可能
  • 加工&観察を繰り返すことで三次元構造を構築(最小5nmピッチ)
  • 大気に曝さない雰囲気制御環境も整備

データ例

市販の化粧品(BBクリーム)を液体窒素にて冷却し、低温に保ったまま装置へ導入しました。
その後、冷却環境を維持しながらFIB法にて断面加工を行い、SEMで断面構造を観察しました。
さらにEDX分析にて元素マッピングを行うことで、O、Si、Tiの分布を評価しました。

冷却環境で一連の分析を行うことで、熱に弱い材料や溶液試料であってもこのように内部構造・含有元素を直接分析することが可能となりました。

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