Processing under controlled atmosphere
雰囲気制御下での処理を適用した
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特徴
高純度不活性ガス雰囲気下で試料前処理・搬送・測定までを行うことで、表面酸化・水分吸着・汚染付着を抑え、サンプル本来の状態を評価することが可能です。
- 雰囲気（水分・酸素）を制御したグローブボックス内でサンプルを扱うことで、反応性の高いサンプルについても変質・変化を最小限に抑えることが可能
- 雰囲気制御下での切断・剥離・測定面出し加工により、大気の二次汚染・酸化を抑えることが可能
- 大気に暴露すること無く、評価装置に搬送・移動することが可能
適用可能な手法：SIMS、TOF-SIMS、AES、XPS、SEM、TEM、STEM、Raman、XRD、FIB 等
適用例
- リチウムイオン二次電池材料の電極表面の成分・構造観察
- 有機EL薄膜など大気中で酸化等の劣化が生じやすい高分子材料の成分評価
- 電極等薄膜材料で剥離しやすい部分の汚染・状態評価
データ例
リチウム二次電池電極表面のXPS分析
大気暴露されたサンプルは、表面の酸化（Li2CO3,Li2O等）が見られますが、高純度不活性雰囲気制御下でサンプリングすることで、サンプルの変質を抑え、本来の状態を調べることができます。
有機EL材料のTOF-SIMS分析
大気暴露されたサンプルでは表面の酸化に起因するピークが見られますが、高純度不活性雰囲気中で取り扱った試料には見られず、材料表面の酸化が抑えられていることがわかります。
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