分析事例

測定法・加工法

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分析事例一覧

掲載日	タイトル	測定法・加工法	製品分野	分析目的
2023/03/23	深紫外LED中Mgの深さ方向濃度分析(C0692)	［SIMS］二次イオン質量分析法	パワーデバイス光デバイス照明ディスプレイ	微量濃度評価製品調査不純物評価・分布評価
2023/02/02	撥水箇所の成分分析(C0686)	［TOF-SIMS］飛行時間型二次イオン質量分析法	LSI・メモリパワーデバイス光デバイス電子部品照明ディスプレイ製造装置・部品酸化物半導体高分子材料日用品	組成分布評価不純物評価・分布評価
2022/11/10	剥離原因となる金属界面の有機物評価(B0285)	［TOF-SIMS］飛行時間型二次イオン質量分析法	LSI・メモリパワーデバイス光デバイス電子部品製造装置・部品酸化物半導体	故障解析・不良解析不純物評価・分布評価
2022/08/11	耐候性試験による製品劣化調査(C0676)	その他耐候性試験	光デバイス電子部品太陽電池照明ディスプレイ日用品	劣化調査・信頼性評価製品調査安全性試験
2020/12/10	デバイスの金属膜中および界面における金属不純物の評価(C0638)	［TOF-SIMS］飛行時間型二次イオン質量分析法	LSI・メモリパワーデバイス光デバイス電子部品製造装置・部品酸化物半導体	故障解析・不良解析製品調査
2020/10/08	信頼性試験の一覧(B0263)	その他耐候性試験恒温恒湿試験 TCC試験熱衝撃試験振動試験衝撃試験接合強度試験はんだ耐熱性試験はんだ濡れ性試験気密性試験 PIND試験 ESD試験	パワーデバイス光デバイス電子部品太陽電池照明ディスプレイ製造装置・部品	故障解析・不良解析劣化調査・信頼性評価
2020/10/01	半導体中キャリアの直流電圧依存性評価(C0628)	［SMM］走査型マイクロ波顕微鏡法	LSI・メモリパワーデバイス光デバイス太陽電池照明酸化物半導体	形状評価製品調査
2020/05/06	STEM・EDXデータと像シミュレーションの組み合わせによる結晶構造評価(C0558)	［(S)TEM］（走査）透過電子顕微鏡法［TEM-EDX］エネルギー分散型X線分光法（TEM）計算科学・AI・データ解析	LSI・メモリパワーデバイス光デバイス太陽電池二次電池酸化物半導体	構造評価
2020/05/06	SCMによるイメージセンサの拡散層形状評価(C0534)	［SCM］走査型静電容量顕微鏡法・［SNDM］走査型非線形誘電率顕微鏡法	光デバイス	形状評価製品調査
2019/03/14	STEM,EBSDと像シミュレーションを併用した多結晶体の結晶構造解析(C0557)	［EBSD］電子後方散乱回折法［(S)TEM］（走査）透過電子顕微鏡法計算科学・AI・データ解析	LSI・メモリパワーデバイス光デバイス太陽電池二次電池酸化物半導体	構造評価
2018/11/29	CMOSセンサの総合評価(C0537)	［SEM］走査電子顕微鏡法［(S)TEM］（走査）透過電子顕微鏡法［TEM-EDX］エネルギー分散型X線分光法（TEM）	光デバイス電子部品	組成評価・同定形状評価構造評価
2016/04/14	表面酸化膜のある異物の状態評価(C0420)	［TOF-SIMS］飛行時間型二次イオン質量分析法	LSI・メモリ光デバイス電子部品製造装置・部品	組成評価・同定化学結合状態評価組成分布評価
2016/02/18	ABF-STEM観察によるGaNの極性評価(C0409)	［(S)TEM］（走査）透過電子顕微鏡法	パワーデバイス光デバイス	形状評価膜厚評価構造評価
2015/12/17	近赤外VCSELのSMMによるキャリア分布評価(C0402)	［SMM］走査型マイクロ波顕微鏡法	光デバイス	組成分布評価形状評価
2015/05/28	ウエットエッチングによる有機付着物除去(C0383)	［XPS］X線光電子分光法	LSI・メモリパワーデバイス光デバイス製造装置・部品酸化物半導体	組成評価・同定化学結合状態評価
2015/05/21	GaN膜の組成・結合状態分析(C0381)	［XPS］X線光電子分光法	パワーデバイス光デバイス照明ディスプレイ酸化物半導体	組成評価・同定化学結合状態評価
2015/05/14	低温フォトルミネッセンス測定の注意事項(B0208)	［PL］フォトルミネッセンス法	LSI・メモリパワーデバイス光デバイス太陽電池照明ディスプレイ	構造評価
2013/09/12	GaN系デバイスの発光・発熱解析(C0309)	［EMS］エミッション顕微鏡法ロックイン発熱解析法	光デバイス	故障解析・不良解析製品調査
2013/02/28	SIMSによる化合物半導体の組成分析(C0288)	［SIMS］二次イオン質量分析法	光デバイス照明	組成評価・同定
2013/02/07	SIMSによるGaN系LED構造の組成分析(C0289)	［SIMS］二次イオン質量分析法	パワーデバイス光デバイス照明	組成評価・同定
2013/02/07	GaN系LED構造中MgのSSDP-SIMS分析(C0293)	［SIMS］二次イオン質量分析法［SSDP用加工］基板側からの測定用加工その他	パワーデバイス光デバイス照明	微量濃度評価製品調査
2012/12/27	化合物積層構造試料のSIMS分析(C0269)	［SIMS］二次イオン質量分析法その他	パワーデバイス光デバイス照明ディスプレイ	微量濃度評価
2012/12/06	SIMSによるGaN系LED構造中不純物の深さ方向濃度分析(C0251)	［SIMS］二次イオン質量分析法その他	パワーデバイス光デバイス照明	微量濃度評価製品調査
2012/11/29	SSDP-SIMSによるSi基板へのGa,Alの拡散評価(C0267)	［SIMS］二次イオン質量分析法［SSDP用加工］基板側からの測定用加工	パワーデバイス光デバイス照明	微量濃度評価
2012/11/22	Si自然酸化膜の膜厚評価(C0279)	［XPS］X線光電子分光法	LSI・メモリパワーデバイス光デバイス製造装置・部品酸化物半導体	組成評価・同定化学結合状態評価組成分布評価膜厚評価
2012/09/13	白色LEDのフォトルミネッセンス分析(C0253)	［PL］フォトルミネッセンス法［IP法］Arイオン研磨加工その他	光デバイス照明	構造評価故障解析・不良解析製品調査その他
2012/06/28	成膜成分のウエハ裏面への回り込み評価(C0230)	［TOF-SIMS］飛行時間型二次イオン質量分析法	LSI・メモリパワーデバイス光デバイス	組成評価・同定組成分布評価その他
2012/06/07	ポリイミド成分の深さ方向分析(C0242)	［TOF-SIMS］飛行時間型二次イオン質量分析法	LSI・メモリ光デバイス電子部品照明ディスプレイ日用品	化学結合状態評価組成分布評価劣化調査・信頼性評価
2012/04/26	SIMSによるUVセンサAlGaN中不純物濃度の高精度評価(C0232)	［SIMS］二次イオン質量分析法その他	光デバイス照明	微量濃度評価組成分布評価製品調査
2011/08/18	熱履歴を考慮した異物の成分同定(C0200)	［TOF-SIMS］飛行時間型二次イオン質量分析法［FT-IR］フーリエ変換赤外分光法［DSC］示差走査熱量測定その他	LSI・メモリ光デバイス製造装置・部品	化学結合状態評価