STEM・EDXデータと像シミュレーションの組み合わせによる結晶構造評価(C0558)

STEM像と原子組成の測定結果から結晶構造の評価ができます

MST技術資料No.C0558
掲載日2020/05/06
測定法・加工法[(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
[TEM-EDX]エネルギー分散型X線分光法(TEM)
計算科学・データ解析
製品分野LSI・メモリ
パワーデバイス
光デバイス
太陽電池
二次電池
酸化物半導体
分析目的構造評価

概要

試料の測定によって得られた結果と、シミュレーションの併用により、結晶構造の評価が可能です。
本資料では、多結晶体であるネオジム磁石において、HAADF-STEMとEDXの測定によって得られた結果と、各々の測定条件を用いたシミュレーション像の比較から結晶構造の考察を行った事例を紹介します。測定結果と計算シミュレーション結果の併用により、結晶構造に対する理解を深めることが可能となります。

データ

ネオジム磁石の測定結果とシミュレーション結果の比較

EDX測定結果
(Nd,Pr)2Fe14Bの結晶構造
結晶モデル図: [100]方向から観察
HAADF-STEMシミュレーション像

VESTA(https://jp-minerals.org/vesta/jp/)を利用

ポイント

  • 原子組成・STEM像と計算結果から 結晶構造の評価が可能です。

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