化合物積層構造試料のSIMS分析(C0269)

前処理により化合物層を選択的に除去してから分析が可能

概要

積層構造試料のSIMS分析において、試料表面から深い位置に着目層がある構造では、着目層で深さ方向分解能の劣化や上層の濃度分布の影響を受ける懸念があります。このような場合には、前処理により上層を除去してから分析することが有効です。
本資料では、 InP/InGaAs系 SHBT（Single Heterojunction Bipolar Transistor）試料について、選択的かつ段階的に層を除去した例を示します。

データ

InP/InGaAs系 SHBT構造試料（図1）について、下記の3種類のSIMS分析を行った結果を図2に示します。

A：試料表面から測定
B：試料表面から①InGaAs層を除去後、②InP層から測定
C：試料表面から②InP層までを除去後、③IｎGaAs層から測定

このように、InP/InGaAs系化合物積層構造試料において、前処理により各層を選択的かつ段階的に除去してから分析することが可能です。
この方法は、LEDの活性層の評価などに有効です。

この分析事例のPDFファイルを開く化合物積層構造試料のSIMS分析

MST技術資料No.	C0269
掲載日	2012/12/27
測定法・加工法	［SIMS］二次イオン質量分析法その他
製品分野	パワーデバイス光デバイス照明ディスプレイ
分析目的	微量濃度評価

関連する分析事例

掲載日	タイトル	測定法・加工法	製品分野	分析目的
2024/10/17	薬物代謝に関わる遺伝子多型解析(B0305)	その他	バイオテクノロジ医薬品	その他
2024/07/18	無アルカリガラス中の金属不純物の定性と定量評価(B0303)	［SIMS］二次イオン質量分析法［TOF-SIMS］飛行時間型二次イオン質量分析法	LSI・メモリ電子部品製造装置・部品酸化物半導体	微量濃度評価不純物評価・分布評価
2024/04/18	SIMS分析データの再現性(B0301)	［SIMS］二次イオン質量分析法	LSI・メモリ	微量濃度評価
2024/04/11	ECLIA法による免疫関連項目の測定(B0300)	その他	その他	その他
2024/04/11	新型コロナウイルスPCR検査・抗体検査(B0299)	その他	その他	その他
2024/03/28	SNP解析の概要と特徴(B0298)	その他	バイオテクノロジ医薬品化粧品食品環境	その他
2024/03/28	リアルタイムPCR法によるSNP解析(B0297)	その他	バイオテクノロジ医薬品化粧品食品環境	その他
2023/11/30	ノーマリーオフ型GaN HEMT二次元電子ガス層評価(C0702)	［SIMS］二次イオン質量分析法［(S)TEM］（走査）透過電子顕微鏡法［SCM］走査型静電容量顕微鏡法・［SNDM］走査型非線形誘電率顕微鏡法［SMM］走査型マイクロ波顕微鏡法	パワーデバイス	微量濃度評価形状評価構造評価製品調査
2023/03/23	深紫外LED中Mgの深さ方向濃度分析(C0692)	［SIMS］二次イオン質量分析法	パワーデバイス光デバイス照明ディスプレイ	微量濃度評価製品調査不純物評価・分布評価
2023/01/26	光ファイバーのコアとクラッドの定性評価(C0685)	［TOF-SIMS］飛行時間型二次イオン質量分析法その他	電子部品高分子材料その他	組成分布評価不純物評価・分布評価その他