SCMによるイメージセンサの拡散層形状評価(C0534)
試料解体から測定まで一貫して対応します
概要
本資料では、スマートフォン搭載のイメージセンサ拡散層に関して評価した事例をご紹介します。
半導体のp/n型を判定可能なSCM（走査型静電容量顕微鏡）を用い、拡散層がどのような分布となっているかを評価しました。今回、断面と平面のSCM結果を組み合わせることで、相補的かつ広範囲の情報が得られました。
SCM は、イメージセンサ拡散層の出来映え評価や故障解析に有効なツールの一つです。
データ
サンプル概要
スマートフォンを解体し、取り出したレンズの中のイメージセンサを評価しました。
分析結果
イメージセンサを断面方向にSCM分析した結果
イメージセンサを平面方向にSCM分析した結果
- ポイント
・位置精度よく、着目箇所のSCM 分析を行うことが可能です。
・平面分析では各層ごとにレイヤー解析が可能です。
・断面および平面方向で分析することで広範囲の情報を取得可能です。