SSDP-SIMSによるSi基板へのGa,Alの拡散評価(C0267)

SSDP-SIMSによる高濃度層の影響を避けた測定

概要

コスト低減の観点から、GaNを材料としたパワーデバイスの基板には高抵抗Si基板の活用が期待されて
います。しかしながら、高温で成膜する際にAl,GaがSi基板表面に拡散してしまうと、低抵抗層が形成され、
リークの原因と言われております。
そこで、Si基板中へのAl,Gaの拡散の有無を評価するため、SIMS分析を行った事例をご紹介します。
微量の拡散を正確に評価するため、Si基板側からGaN層に向けて測定を行いました。

データ

基板側からの測定(SSDP-SIMS分析)により、Si基板中へAl,Gaがμmオーダーで拡散している様子が確認できました。
このようにSIMS分析では、低濃度(ppb~ppm)の不純物の深さ方向分布を得ることができます。

MST技術資料No.C0267
掲載日2012/11/29
測定法・加工法[SIMS]二次イオン質量分析法
[SSDP用加工]基板側からの測定用加工
製品分野パワーデバイス
光デバイス
照明
分析目的微量濃度評価

関連する分析事例

イメージ 掲載日 タイトル 測定法・加工法 製品分野 分析目的
ノーマリーオフ型GaN HEMT二次元電子ガス層評価 2023/11/30 ノーマリーオフ型GaN HEMT二次元電子ガス層評価(C0702) [SIMS]二次イオン質量分析法
[(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
[SCM]走査型静電容量顕微鏡法・[SNDM]走査型非線形誘電率顕微鏡法
[SMM]走査型マイクロ波顕微鏡法
パワーデバイス
微量濃度評価
形状評価
構造評価
製品調査
深紫外LED中Mgの深さ方向濃度分析 2023/03/23 深紫外LED中Mgの深さ方向濃度分析(C0692) [SIMS]二次イオン質量分析法
パワーデバイス
光デバイス
照明
ディスプレイ
微量濃度評価
製品調査
不純物評価・分布評価
低温PL・SIMS分析によるSi基板に含まれる格子間型炭素の評価 2020/05/06 低温PL・SIMS分析によるSi基板に含まれる格子間型炭素の評価(C0481) [SIMS]二次イオン質量分析法
[PL]フォトルミネッセンス法
LSI・メモリ
パワーデバイス
電子部品
太陽電池
微量濃度評価
構造評価
故障解析・不良解析
SSDP-SIMSによるゲート電極から基板へのBの突き抜け量評価 2020/05/06 SSDP-SIMSによるゲート電極から基板へのBの突き抜け量評価(C0028) [SIMS]二次イオン質量分析法
[SSDP用加工]基板側からの測定用加工
LSI・メモリ
組成評価・同定
微量濃度評価
組成分布評価
半導体基板中軽元素の高感度分析 2020/05/06 半導体基板中軽元素の高感度分析(C0117) [SIMS]二次イオン質量分析法
LSI・メモリ
微量濃度評価
組成分布評価
SIMS・SCM・TEMによるSiCパワーMOSFETの活性層評価 2020/05/06 SIMS・SCM・TEMによるSiCパワーMOSFETの活性層評価(C0291) [SIMS]二次イオン質量分析法
[(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
[SCM]走査型静電容量顕微鏡法・[SNDM]走査型非線形誘電率顕微鏡法
パワーデバイス
微量濃度評価
形状評価
製品調査
SMMおよびSNDMによるSiC Trench MOSFETの拡散層評価 2020/04/30 SMMおよびSNDMによるSiC Trench MOSFETの拡散層評価(C0556) [SIMS]二次イオン質量分析法
[SCM]走査型静電容量顕微鏡法・[SNDM]走査型非線形誘電率顕微鏡法
[SMM]走査型マイクロ波顕微鏡法
パワーデバイス
形状評価
構造評価
劣化調査・信頼性評価
製品調査
SRAによるIGBTチップのキャリア濃度分布評価 2020/04/30 SRAによるIGBTチップのキャリア濃度分布評価(C0443) [SIMS]二次イオン質量分析法
[SRA]広がり抵抗測定法
パワーデバイス
電子部品
微量濃度評価
製品調査
界面および深さ方向分解能について 2018/07/05 界面および深さ方向分解能について(B0243) [SIMS]二次イオン質量分析法
LSI・メモリ
パワーデバイス
太陽電池
ディスプレイ
酸化物半導体
微量濃度評価
Dynamic-SIMSによる歯科インプラントの評価 2018/05/31 Dynamic-SIMSによる歯科インプラントの評価(C0519) [SIMS]二次イオン質量分析法
化粧品
その他
微量濃度評価
組成分布評価
製品調査

分析のご相談・お申し込み

知識豊富な営業担当が、最適な分析プランをご提案。
分析費用のお見積りもお気軽にお問い合わせください。
相談・お申し込みは、専用のフォームかお電話でどうぞ。

webからのお問い合わせはこちら

分析お問い合わせフォーム

お電話からのお問い合わせはこちら

ページトップへ