分析事例

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分析事例一覧

イメージ 掲載日 タイトル 測定法・加工法 製品分野 分析目的
XPSによるポリイミドの評価 2019/11/28 XPSによるポリイミドの評価(C0579) [XPS]X線光電子分光法
電子部品
日用品
組成評価・同定
化学結合状態評価
劣化調査・信頼性評価
XPSによる単結晶Si表面のダメージ評価 2019/02/14 XPSによる単結晶Si表面のダメージ評価(C0549) [XPS]X線光電子分光法
LSI・メモリ
電子部品
組成評価・同定
化学結合状態評価
構造評価
角度分解XPS(ARXPS)による極薄膜の組成分布評価 2019/02/07 角度分解XPS(ARXPS)による極薄膜の組成分布評価(C0550) [XPS]X線光電子分光法
LSI・メモリ
構造評価
Sn酸化物に対する還元処理の検証~XPSと計算シミュレーションの比較から~ 2019/02/07 Sn酸化物に対する還元処理の検証~XPSと計算シミュレーションの比較から~(C0544) [XPS]X線光電子分光法
その他
酸化物半導体
日用品
化学結合状態評価
その他
XPSによるμmオーダーの深さ方向分析 2018/08/30 XPSによるμmオーダーの深さ方向分析(C0529) [XPS]X線光電子分光法
製造装置・部品
組成評価・同定
化学結合状態評価
組成分布評価
XPSによるプラスチック容器ガスバリア膜の評価 2018/03/08 XPSによるプラスチック容器ガスバリア膜の評価(C0513) [XPS]X線光電子分光法
日用品
食品
組成評価・同定
化学結合状態評価
製品調査
XPSによる歯科インプラントの評価 2018/03/08 XPSによる歯科インプラントの評価(C0512) [XPS]X線光電子分光法
医薬品
その他
組成評価・同定
製品調査
XPSにおける吸着酸素の影響 2018/02/01 XPSにおける吸着酸素の影響(B0240) [XPS]X線光電子分光法
LSI・メモリ
パワーデバイス
組成評価・同定
XPSによるSn酸化物の価数評価 2017/10/26 XPSによるSn酸化物の価数評価(C0492) [XPS]X線光電子分光法
酸化物半導体
日用品
化学結合状態評価
その他
燃料電池等の窒素ドープカーボン材料における窒素の置換位置評価 2017/09/07 燃料電池等の窒素ドープカーボン材料における窒素の置換位置評価(C0484) [XPS]X線光電子分光法
燃料電池
化学結合状態評価
構造評価
酸化・窒化薄膜のバンドギャップ評価 2017/03/16 酸化・窒化薄膜のバンドギャップ評価(C0462) [XPS]X線光電子分光法
[XAFS]X線吸収微細構造
パワーデバイス
太陽電池
照明
酸化物半導体
その他
XPSによるSiC表面の状態・膜厚評価 2015/08/27 XPSによるSiC表面の状態・膜厚評価(C0394) [XPS]X線光電子分光法
パワーデバイス
組成評価・同定
化学結合状態評価
膜厚評価
リチウムイオン二次電池におけるLiの結合状態別定量 2015/08/06 リチウムイオン二次電池におけるLiの結合状態別定量(C0389) [XPS]X線光電子分光法
二次電池
化学結合状態評価
燃料電池触媒PtRuの組成評価・形態観察 2015/07/16 燃料電池触媒PtRuの組成評価・形態観察(C0388) [XPS]X線光電子分光法
[SEM]走査電子顕微鏡法
[(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
燃料電池
組成評価・同定
化学結合状態評価
形状評価
劣化調査・信頼性評価
XPS・AESによる深さ方向分析の比較 2015/07/02 XPS・AESによる深さ方向分析の比較(B0211) [AES]オージェ電子分光法
[XPS]X線光電子分光法
LSI・メモリ
電子部品
組成評価・同定
ケミカルシフトによる金属酸化物の価数評価 2015/06/11 ケミカルシフトによる金属酸化物の価数評価(B0210) [XPS]X線光電子分光法
その他
化学結合状態評価
膜厚評価
エッチングによる有機付着物除去 2015/05/28 エッチングによる有機付着物除去(C0383) [XPS]X線光電子分光法
LSI・メモリ
パワーデバイス
光デバイス
製造装置・部品
酸化物半導体
組成評価・同定
化学結合状態評価
XPSによるGaN膜の組成・結合状態評価 2015/05/21 XPSによるGaN膜の組成・結合状態評価(C0381) [XPS]X線光電子分光法
パワーデバイス
光デバイス
照明
ディスプレイ
酸化物半導体
組成評価・同定
化学結合状態評価
XPSによるDLCの評価 2015/05/14 XPSによるDLCの評価(C0380) [XPS]X線光電子分光法
電子部品
製造装置・部品
日用品
組成評価・同定
化学結合状態評価
汚染原因となる工程の調査 2015/03/05 汚染原因となる工程の調査(C0110) [TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法
[XPS]X線光電子分光法
[SEM-EDX]エネルギー分散型X線分光法(SEM)
LSI・メモリ
電子部品
組成評価・同定
化学結合状態評価
組成分布評価
化学修飾XPSによる官能基の定量 2014/10/02 化学修飾XPSによる官能基の定量(C0357) [XPS]X線光電子分光法
その他
電子部品
日用品
組成評価・同定
化学結合状態評価
定量計算における妨害ピーク除去処理 2014/02/20 定量計算における妨害ピーク除去処理(B0189) [XPS]X線光電子分光法
LSI・メモリ
パワーデバイス
電子部品
照明
製造装置・部品
バイオテクノロジ
組成評価・同定
組成分布評価
IGZO膜の化学状態評価 2013/12/26 IGZO膜の化学状態評価(C0331) [XPS]X線光電子分光法
[UPS]紫外光電子分光法
酸化物半導体
化学結合状態評価
X線によるZn系バッファ層の複合評価 2013/07/04 X線によるZn系バッファ層の複合評価(C0282) [XPS]X線光電子分光法
[XRD]X線回折法
[XRR]X線反射率法
その他
太陽電池
酸化物半導体
組成評価・同定
化学結合状態評価
膜厚評価
構造評価
XPS多点測定による広域定量マッピング 2013/02/21 XPS多点測定による広域定量マッピング(B0187) [XPS]X線光電子分光法
LSI・メモリ
電子部品
製造装置・部品
バイオテクノロジ
組成評価・同定
化学結合状態評価
組成分布評価
故障解析・不良解析
SiC基板のゲート酸化膜評価 2013/01/24 SiC基板のゲート酸化膜評価(C0281) [XPS]X線光電子分光法
[XRR]X線反射率法
パワーデバイス
化学結合状態評価
膜厚評価
Si自然酸化膜の膜厚評価 2012/11/22 Si自然酸化膜の膜厚評価(C0279) [XPS]X線光電子分光法
LSI・メモリ
パワーデバイス
光デバイス
製造装置・部品
酸化物半導体
組成評価・同定
化学結合状態評価
組成分布評価
膜厚評価
プラズマ処理によるぬれ性変化の原因調査 2012/06/14 プラズマ処理によるぬれ性変化の原因調査(C0231) [TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法
[XPS]X線光電子分光法
電子部品
医薬品
日用品
その他
組成評価・同定
化学結合状態評価
製品調査
Cu表面の酸化状態の定量 2010/11/25 Cu表面の酸化状態の定量(C0047) [XPS]X線光電子分光法
LSI・メモリ
電子部品
組成評価・同定
化学結合状態評価
リチウム二次電池負極表面の劣化評価 2010/01/05 リチウム二次電池負極表面の劣化評価(C0157) [XPS]X線光電子分光法
[SEM]走査電子顕微鏡法
[SEM-EDX]エネルギー分散型X線分光法(SEM)
[(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
[FIB]集束イオンビーム加工
雰囲気制御下での処理
二次電池
組成評価・同定
化学結合状態評価
形状評価

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