TOF-SIMSによる有機EL(OLED)発光層の解析(C0033)

発光層のゲストの定量・膜厚評価が可能

MST技術資料No.C0033
掲載日2020/01/16
測定法・加工法[TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法
[XPS]X線光電子分光法
[(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
製品分野ディスプレイ
分析目的組成評価・同定
膜厚評価

概要

有機ELディスプレイは自発光原理による高輝度、高精細カラー、薄型化等の利点を活かし実用化が進みつつあります。発光層では発光効率を高めるために、ホスト分子中にゲスト分子がドーピングされています。今回、有機EL表示素子において赤色画素の発光層材料の同定を行いました。また、新規に段差計を用いた発光層の膜厚評価や発光層中におけるゲスト材料の定量を行いました。発光層中のゲスト分子の定性・定量ならびに発光層の膜厚の評価が可能となりました。

データ


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