切断加工を併用した金属配管内壁のXPS分析(C0602)

試料の切断加工から変色・腐食の原因調査までワンストップで対応します

MST技術資料No.C0602
掲載日2020/07/02
測定法・加工法[XPS]X線光電子分光法
製品分野製造装置・部品
分析目的組成評価・同定
化学結合状態評価
故障解析・不良解析
劣化調査・信頼性評価

概要

様々な分野で使用されるSUS等の金属製配管の内壁は、流入する気体や液体と反応して変色や腐食が発生し、設備の機能低下の原因となります。変色・腐食の生じやすい位置やその原因を把握することは、設備保全において重要な課題です。MSTではこのような評価を、試料の切断加工から分析まで一貫してお引き受けします。本資料では真空装置に用いられていたSUS製配管の内壁に見られた通常部位と変色部位について、XPS分析を行った事例を紹介します。

データ

分析の流れ(切断事例)

分析の流れ(切断事例)

XPS分析事例

使用後の配管内壁(母材:SUS)において、通常部位と変色部位のXPS深さ方向分析を行いました。
通常部位と比較して、変色部位では、Feの酸化が顕著に進んでいることが確認されました。

XPS分析事例

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