SEMI規格に準拠した ステンレス表面不動態膜の評価(C0612)

規格に則った試験によって不動態膜質に関する評価指標が得られます

MST技術資料No.C0612
掲載日2020/07/23
測定法・加工法[AES]オージェ電子分光法
[XPS]X線光電子分光法
その他
製品分野製造装置・部品
分析目的組成評価・同定
化学結合状態評価
組成分布評価
膜厚評価

概要

ステンレス鋼は、表面に極薄い緻密で安定したCrの酸化被膜(不動態膜)が形成されることで、優れた 耐食性を示します。この不動態膜には、表面敏感な手法であるXPSやAESによる組成、膜厚の評価が 有効です。特にSUS316Lについては国際的な業界団体SEMI*により規格化された不動態膜の試験方法(F60-0306(XPS),F72-0309(AES))が存在します。本資料ではSEMI規格に準拠したXPS分析の評価事例を紹介します。 *SEMI:Semiconductor Equipment and Materials International

データ

SEMI規格に準拠した ステンレス表面不動態膜の評価 SEMI規格に準拠した ステンレス表面不動態膜の評価 SEMI規格に準拠した ステンレス表面不動態膜の評価

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[XPS]X線光電子分光法
その他
製造装置・部品
組成評価・同定
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化学結合状態評価
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[XPS]X線光電子分光法
[SEM]走査電子顕微鏡法
[(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
[AFM]原子間力顕微鏡法
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劣化調査・信頼性評価
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組成評価・同定
化学結合状態評価
膜厚評価
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