SEMI規格に準拠したステンレス表面不動態膜の評価(C0612)

規格に則った試験によって不動態膜質に関する評価指標が得られます

概要

ステンレス鋼は、表面に極薄い緻密で安定したCrの酸化被膜(不動態膜)が形成されることで、優れた耐食性を示します。この不動態膜には、表面敏感な手法であるXPSやAESによる組成、膜厚の評価が有効です。特にSUS316Lについては国際的な業界団体SEMI*により規格化された不動態膜の試験方法(F60-0306(XPS),F72-0309(AES))が存在します。本資料ではSEMI規格に準拠したXPS分析の評価事例を紹介します。 *SEMI：Semiconductor Equipment and Materials International

データ

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MST技術資料No.	C0612
掲載日	2020/07/23
測定法・加工法	［AES］オージェ電子分光法［XPS］X線光電子分光法その他
製品分野	製造装置・部品
分析目的	組成評価・同定化学結合状態評価組成分布評価膜厚評価

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