Sn酸化物に対する還元処理の検証~XPSと計算シミュレーションの比較から~(C0544)

価電子帯スペクトルからの電子状態解析

MST技術資料No.C0544
掲載日2019/02/07
測定法・加工法[XPS]X線光電子分光法
その他
製品分野酸化物半導体
日用品
分析目的化学結合状態評価
その他

概要

XPSは内殻準位からの光電子スペクトルより物質の組成・結合状態を評価する手法です。一方でフェルミ準位近傍には最外殻電子の状態を反映した価電子帯スペクトルが現れます。本資料では、Sn酸化物に対して第一原理計算によって算出した状態密度とXPSによって取得した価電子帯スペクトルを比較、考察することで、Sn酸化物に対する還元処理の検証を行った事例をご紹介します。
計算シミュレーションを用いることで取得したXPSスペクトルの理解を深めることが可能です。

データ

ポイント

  • 計算シミュレーションはXPSによる価電子帯スペクトルの解釈に有用です

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