XPSによる広域定量マッピング(C0600)

最大70×70mm領域の組成分布評価が可能です

MST技術資料No.C0600
掲載日2020/06/25
測定法・加工法[XPS]X線光電子分光法
製品分野電子部品
製造装置・部品
日用品
分析目的組成分布評価

概要

XPSによる広域定量マッピングの事例を紹介します。 シリコンウエハ上の有機物残渣について、以下の手順で評価しました。ピーク強度ではなく存在量(原子濃度)をグラフ化するため、試料凹凸等の影響を受けにくく、且つ広域でのデータ取得が可能です。 試料表面の組成分布を俯瞰的に評価できるため、有機系・無機系の汚染、変色、表面処理等の調査に適しています。

データ

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