ステンレス不動態皮膜の深さ方向状態評価(C0003)
XPSによる結合状態別の深さ方向分布評価
概要
XPSでは金属の表面酸化皮膜について、金属成分と酸化成分を分離して検出することができます。
また、アルゴンイオンスパッタリングを併用することにより、深さ方向の状態評価も可能です。
SUS316ステンレス鋼を酸洗処理したサンプルについて、不動態皮膜のXPS深さ方向状態分析を行いました。この結果、酸洗処理により酸化膜が薄くなるとともに、皮膜中のCrOx比が高くなり、その程度は硝フッ酸より硝酸において顕著でした。
データ
関連資料
XPS・AESによる深さ方向分析の比較(B0211)
SEMI規格に準拠した ステンレス表面不動態膜の評価(C0612)
MST技術資料No. | C0003 |
掲載日 | 2021/04/29 |
測定法・加工法 | [XPS]X線光電子分光法
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製品分野 | 製造装置・部品
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分析目的 | 組成評価・同定 化学結合状態評価 組成分布評価
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