XPSによるμmオーダーの深さ方向分析(C0529)

数μmの深さまで深さ方向分析を行います

MST技術資料No.C0529
掲載日2018/08/30
測定法・加工法[XPS]X線光電子分光法
製品分野製造装置・部品
分析目的組成評価・同定
化学結合状態評価
組成分布評価

概要

XPSは表面敏感な手法でありサンプル表面の評価に広く用いられますが、イオンエッチングを併用することで深さ方向の分析が可能です。
XPSでは深さ方向の組成分布に加えて結合状態の評価も可能なため、装置部材表面の変色の原因調査などに適しています。
本資料ではターボ分子ポンプの羽の変色部について、XPSで評価した事例を紹介します。

データ

サンプル概要

使用後のターボ分子ポンプの羽(母材:Al)について、黒色部と未変色部の2箇所においてSiO2換算約5μmまで深さ方向分析を行いました。

分析結果

黒色部ではSiO2換算深さ約4μm程度までCが検出されており、羽の表面にCがμmオーダーで堆積している様子が確認されました。
またAl,Oの分布より、黒色部ではAl酸化層が厚くなっていると考えられます。

標準仕様 2元素~、30点程度、1μm~最大深さ5μm
費用 17万円~ 測定元素数、深さ等により加算
応用例 深さ方向の結合状態分布、波形解析と組み合わせた状態別の深さプロファイル等
にも対応致しますのでご相談ください。

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