03-3749-2525

Oxide semiconductor

Some metal oxides exhibit semiconductor properties, and research is underway to apply them to TFTs, power devices, and sensors. The followings are examples of analysis on oxide semiconductors.

評価項目	部位	Analysis Method
形状・構造解析	実製品	SEM・TEM
形状・構造解析	バルク・薄膜	XAFS
結晶構造解析	実製品	TEM・ED・EBSD
結晶構造解析	バルク・薄膜	XRD
不純物濃度分析	実製品	SIMS
主成分濃度分析	実製品	AES・XPS・TEM・TEM‐EDX
主成分濃度分析	バルク・薄膜	ICP‐MS
活性層形状評価	実製品	SCM・SSRM
仕事関数評価	バルク・薄膜	UPS

酸化物半導体の分析事例はこちらからご覧ください。

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