分析事例

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分析事例一覧

イメージ 掲載日 タイトル 測定法・加工法 製品分野 分析目的
DRAMチップの解析 2019/04/04 DRAMチップの解析(C0542) [SEM]走査電子顕微鏡法
[(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
LSI・メモリ
形状評価
構造評価
製品調査
STEM・EDXデータと像シミュレーションの組み合わせによる結晶構造評価 2019/03/14 STEM・EDXデータと像シミュレーションの組み合わせによる結晶構造評価(C0558) [(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
[TEM-EDX]エネルギー分散型X線分光法(TEM)
計算科学・データ解析
LSI・メモリ
パワーデバイス
光デバイス
太陽電池
二次電池
酸化物半導体
構造評価
STEM,EBSDと像シミュレーションを併用した多結晶体の結晶構造解析 2019/03/14 STEM,EBSDと像シミュレーションを併用した多結晶体の結晶構造解析(C0557) [EBSD]電子後方散乱回折法
[(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
計算科学・データ解析
LSI・メモリ
パワーデバイス
光デバイス
太陽電池
二次電池
酸化物半導体
構造評価
CMOSセンサの総合評価 2018/11/29 CMOSセンサの総合評価(C0537) [SEM]走査電子顕微鏡法
[(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
[TEM-EDX]エネルギー分散型X線分光法(TEM)
光デバイス
電子部品
組成評価・同定
形状評価
構造評価
PL・TEMによるSiCパワーデバイスの結晶欠陥評価 2017/11/15 PL・TEMによるSiCパワーデバイスの結晶欠陥評価(C0494) [(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
[PL]フォトルミネッセンス法
[FIB]集束イオンビーム加工
その他
パワーデバイス
構造評価
故障解析・不良解析
製品調査
リチウムイオン二次電池正極材料の原子分解能分析 2017/08/03 リチウムイオン二次電池正極材料の原子分解能分析(C0475) [(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
[TEM-EDX]エネルギー分散型X線分光法(TEM)
[TEM-EELS]電子エネルギー損失分光法
[ED]電子回折法
二次電池
組成評価・同定
組成分布評価
構造評価
高電子移動度トランジスタの評価 2016/02/25 高電子移動度トランジスタの評価(C0410) [(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
[TEM-EELS]電子エネルギー損失分光法
パワーデバイス
膜厚評価
構造評価
ABF-STEM観察によるGaNの極性評価 2016/02/18 ABF-STEM観察によるGaNの極性評価(C0409) [(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
パワーデバイス
光デバイス
形状評価
膜厚評価
構造評価
電子回折の種類と特徴 2015/09/17 電子回折の種類と特徴(B0214) [(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
[ED]電子回折法
その他
形状評価
構造評価
故障解析・不良解析
劣化調査・信頼性評価
製品調査
チタン酸ストロンチウムSrTiO3の原子カラム観察 2015/07/30 チタン酸ストロンチウムSrTiO3の原子カラム観察(C0390) [(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
[TEM-EDX]エネルギー分散型X線分光法(TEM)
LSI・メモリ
形状評価
構造評価
燃料電池触媒PtRuの組成評価・形態観察 2015/07/16 燃料電池触媒PtRuの組成評価・形態観察(C0388) [XPS]X線光電子分光法
[SEM]走査電子顕微鏡法
[(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
燃料電池
組成評価・同定
化学結合状態評価
形状評価
劣化調査・信頼性評価
固体高分子燃料電池 触媒材料の形態観察・成分分析 2015/07/09 固体高分子燃料電池 触媒材料の形態観察・成分分析(C0385) [SEM]走査電子顕微鏡法
[(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
[TEM-EDX]エネルギー分散型X線分光法(TEM)
燃料電池
組成評価・同定
組成分布評価
形状評価
劣化調査・信頼性評価
固体高分子燃料電池 触媒材料の粒子径・組成評価 2015/07/09 固体高分子燃料電池 触媒材料の粒子径・組成評価(C0386) [(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
[TEM-EDX]エネルギー分散型X線分光法(TEM)
燃料電池
組成評価・同定
形状評価
劣化調査・信頼性評価
微細トランジスタの構造評価 2014/04/17 微細トランジスタの構造評価(C0338) [(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
[TEM-EDX]エネルギー分散型X線分光法(TEM)
LSI・メモリ
組成分布評価
形状評価
膜厚評価
構造評価
磁気ヘッドMTJ部の構造評価 2014/04/17 磁気ヘッドMTJ部の構造評価(C0337) [(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
電子部品
その他
形状評価
膜厚評価
構造評価
CIGS薄膜太陽電池の原子レベル構造分析 2014/04/17 CIGS薄膜太陽電池の原子レベル構造分析(C0339) [(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
[TEM-EDX]エネルギー分散型X線分光法(TEM)
太陽電池
組成分布評価
形状評価
膜厚評価
構造評価
IGZO膜へのTi拡散評価 2013/12/26 IGZO膜へのTi拡散評価(C0329) [SIMS]二次イオン質量分析法
[(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
[SSDP用加工]基板側からの測定用加工
酸化物半導体
微量濃度評価
IGZO膜中H濃度評価 2013/12/26 IGZO膜中H濃度評価(C0328) [SIMS]二次イオン質量分析法
[(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
酸化物半導体
微量濃度評価
IGZO膜の局所結晶構造解析 2013/12/26 IGZO膜の局所結晶構造解析(C0330) [(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
[ED]電子回折法
酸化物半導体
形状評価
構造評価
SiCパワーMOSFETの活性層評価 2013/10/10 SiCパワーMOSFETの活性層評価(C0291) [SIMS]二次イオン質量分析法
[(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
[SCM]走査型静電容量顕微鏡法・[SNDM]走査型非線形誘電率顕微鏡法
パワーデバイス
微量濃度評価
形状評価
製品調査
SiCパワーMOSFETのコンタクト電極評価 2013/10/10 SiCパワーMOSFETのコンタクト電極評価(C0292) [(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
[TEM-EDX]エネルギー分散型X線分光法(TEM)
[TEM-EELS]電子エネルギー損失分光法
[ED]電子回折法
[FIB]集束イオンビーム加工
パワーデバイス
組成評価・同定
形状評価
構造評価
アイシャドウ成分の元素分析 2013/05/23 アイシャドウ成分の元素分析(C0302) [(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
[TEM-EDX]エネルギー分散型X線分光法(TEM)
[TEM-EELS]電子エネルギー損失分光法
化粧品
組成評価・同定
製品調査
リチウムイオン二次電池の加熱劣化試験 2011/11/17 リチウムイオン二次電池の加熱劣化試験(C0223) [TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法
[LC/MS]液体クロマトグラフィー質量分析法
[(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
[FIB]集束イオンビーム加工
雰囲気制御下での処理
その他
二次電池
組成評価・同定
化学結合状態評価
膜厚評価
劣化調査・信頼性評価
リチウムイオン二次電池 Si負極の評価 2011/11/01 リチウムイオン二次電池 Si負極の評価(C0221) [(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
[TEM-EDX]エネルギー分散型X線分光法(TEM)
[TEM-EELS]電子エネルギー損失分光法
二次電池
組成評価・同定
形状評価
劣化調査・信頼性評価
雰囲気制御&冷却下でのTEM分析 2011/06/09 雰囲気制御&冷却下でのTEM分析(B0156) [(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
雰囲気制御下での処理
クライオ加工
二次電池
バイオテクノロジ
化粧品
日用品
形状評価
製品調査
歯のエナメル小柱の断面観察 2011/04/28 歯のエナメル小柱の断面観察(C0211) [(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
[FIB]集束イオンビーム加工
その他
バイオテクノロジ
形状評価
その他
化合物へテロ接合界面歪の可視化 2010/10/28 化合物へテロ接合界面歪の可視化(C0010) [(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
光デバイス
照明
構造評価
応力・歪み評価
EELSスペクトラムイメージング 2010/10/21 EELSスペクトラムイメージング(B0149) [(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
[TEM-EELS]電子エネルギー損失分光法
LSI・メモリ
電子部品
二次電池
燃料電池
組成評価・同定
組成分布評価
ウエハ・チップの特定箇所の前処理技術 2010/06/22 ウエハ・チップの特定箇所の前処理技術(C0184) [(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
[TEM-EDX]エネルギー分散型X線分光法(TEM)
[TEM-EELS]電子エネルギー損失分光法
[FIB]集束イオンビーム加工
LSI・メモリ
組成評価・同定
組成分布評価
形状評価
構造評価
CIGS薄膜太陽電池特定結晶粒の評価 2010/04/01 CIGS薄膜太陽電池特定結晶粒の評価(C0175) [EBIC]電子線誘起電流
[EBSD]電子後方散乱回折法
[(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
[ED]電子回折法
太陽電池
形状評価
構造評価

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