TEMによる多元系金属微粒子の結晶構造観察(C0116)

InGaZnO4粒子の超高分解能STEM観察

MST技術資料No.C0116
掲載日2020/05/06
測定法・加工法[(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
製品分野酸化物半導体
分析目的構造評価

概要

Csコレクタ(球面収差補正機能)付きSTEM装置により、超高分解能観察(分解能0.10nm)が可能となりました。原子量に敏感なHAADF-STEM像は多元系結晶構造を直接理解できる有効なツールです。今回、TAOS(透明アモルファス酸化物半導体)中微粒子の評価を行いましたので紹介します。
異種材料界面・化合物界面の原子配列、粒界偏析評価などに応用できます。
※High-Angle Annular Dark-Field:原子量(Z)に比例したコントラストが得られます。

データ

InGaZnO4粒子の超高分解能TEM像(STEM像)

InGaZnO4結晶モデル

HAADF-STEM像

シミュレーション像

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イメージ 掲載日 タイトル 測定法・加工法 製品分野 分析目的
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