Xe-プラズマFIBによる構造解析(B0255)

Xe-プラズマFIB(Xe-Plasma Focused Ion Beam)

数百μmの広い領域を対象に精密加工/構造評価が可能

Xe-プラズマFIBによる構造解析

解析事例:DRAMパッケージ内ボンディングの広域断面解析

Xe-プラズマFIBによる構造解析 Xe-プラズマFIB加工断面のSEM像と電子後方散乱回析法(EBSD像) ワイヤーボンディングのXe-プラズマFIB加工断面のSEM像 ワイヤーボンディング断面の電子後方散乱回析法(EBSD像)

MST技術資料No.B0255
掲載日2020/07/16
測定法・加工法[SEM]走査電子顕微鏡法
[Slice&View]三次元SEM観察法
[EBSD]電子後方散乱回折法
[(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
X線CT法
[FIB]集束イオンビーム加工
その他
製品分野LSI・メモリ
分析目的形状評価
構造評価
故障解析・不良解析
製品調査

関連する分析事例

イメージ 掲載日 タイトル 測定法・加工法 製品分野 分析目的
ECLIA法による免疫関連項目の測定 2024/04/11 ECLIA法による免疫関連項目の測定(B0300) その他
その他
その他
新型コロナウイルスPCR検査・抗体検査 2024/04/11 新型コロナウイルスPCR検査・抗体検査(B0299) その他
その他
その他
トレンチ型Si-MOSFETの IDSSリーク箇所の複合解析 2024/04/04 トレンチ型Si-MOSFETの IDSSリーク箇所の複合解析(C0707) [SEM]走査電子顕微鏡法
[SCM]走査型静電容量顕微鏡法・[SNDM]走査型非線形誘電率顕微鏡法
[EMS]エミッション顕微鏡法
パワーデバイス
故障解析・不良解析
SNP解析の概要と特徴 2024/03/28 SNP解析の概要と特徴(B0298) その他
バイオテクノロジ
医薬品
化粧品
食品
環境
その他
リアルタイムPCR法によるSNP解析 2024/03/28 リアルタイムPCR法によるSNP解析(B0297) その他
バイオテクノロジ
医薬品
化粧品
食品
環境
その他
ノーマリーオフ型GaN HEMT二次元電子ガス層評価 2023/11/30 ノーマリーオフ型GaN HEMT二次元電子ガス層評価(C0702) [SIMS]二次イオン質量分析法
[(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
[SCM]走査型静電容量顕微鏡法・[SNDM]走査型非線形誘電率顕微鏡法
[SMM]走査型マイクロ波顕微鏡法
パワーデバイス
微量濃度評価
形状評価
構造評価
製品調査
X線CTによるスティッチング撮影 -広視野観察と高分解能観察の両立- 2023/07/20 X線CTによるスティッチング撮影 -広視野観察と高分解能観察の両立-(B0293) X線CT法
高分子材料
日用品
形状評価
製品調査
バッテリー正極材の活物質抽出およびデータ解析 2023/03/09 バッテリー正極材の活物質抽出およびデータ解析(C0690) [SEM]走査電子顕微鏡法
太陽電池
二次電池
燃料電池
形状評価
構造評価
故障解析・不良解析
細菌の画像からの細胞周期評価 2023/03/09 細菌の画像からの細胞周期評価(C0689) [SEM]走査電子顕微鏡法
バイオテクノロジ
医薬品
化粧品
日用品
食品
形状評価
製品調査
毛髪の三次元構造解析 2023/02/16 毛髪の三次元構造解析(C0688) X線CT法
計算科学・AI・データ解析
バイオテクノロジ
医薬品
化粧品
形状評価
構造評価

分析のご相談・お申し込み

知識豊富な営業担当が、最適な分析プランをご提案。
分析費用のお見積りもお気軽にお問い合わせください。
相談・お申し込みは、専用のフォームかお電話でどうぞ。

webからのお問い合わせはこちら

分析お問い合わせフォーム

お電話からのお問い合わせはこちら

ページトップへ