SEM・TEM・EDXによる触媒材料の形態観察・成分分析(C0385)

SEM・STEM・EDXによる触媒粒子の評価

MST技術資料No.C0385
掲載日2020/05/06
測定法・加工法[SEM]走査電子顕微鏡法
[(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
[TEM-EDX]エネルギー分散型X線分光法(TEM)
製品分野燃料電池
分析目的組成評価・同定
組成分布評価
形状評価
劣化調査・信頼性評価

概要

燃料電池の電極は、カーボンに触媒であるPt粒子またはPt合金(PtRu等)粒子が担持されています。この触媒粒子は数nmと微細構造のため、形態観察、組成分析にはSEMやTEM分析が用いられています。
初期状態での評価の他に通電後の劣化として合金組成の変調、Ruの溶出、触媒粒子径の増大が報告されていますが、これらの評価に高空間分解能でのHAADF観察やEDX分析が非常に有効です。また、SEM観察では担体のカーボンの形状や触媒粒子の存在状態を確認することができます。

データ

試料:カーボン担持PtRu触媒

形態観察:SEM

形態観察:STEM

成分分析:EDX

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