分析事例

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分析事例一覧

イメージ 掲載日 タイトル 測定法・加工法 製品分野 分析目的
SEMとSIMによるCu表面の二次電子像の比較 2019/04/11 SEMとSIMによるCu表面の二次電子像の比較(C0543) [SEM]走査電子顕微鏡法
[SIM]走査イオン顕微鏡法
LSI・メモリ
構造評価
DRAMチップの解析 2019/04/04 DRAMチップの解析(C0542) [SEM]走査電子顕微鏡法
[(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
LSI・メモリ
形状評価
構造評価
製品調査
SiC Trench MOSFETのトレンチ側壁の粗さ評価 2019/02/28 SiC Trench MOSFETのトレンチ側壁の粗さ評価(C0555) [SEM]走査電子顕微鏡法
[AFM]原子間力顕微鏡法
パワーデバイス
形状評価
構造評価
劣化調査・信頼性評価
製品調査
CMOSセンサの総合評価 2018/11/29 CMOSセンサの総合評価(C0537) [SEM]走査電子顕微鏡法
[(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
[TEM-EDX]エネルギー分散型X線分光法(TEM)
光デバイス
電子部品
組成評価・同定
形状評価
構造評価
AFMによる注射針の表面微細構造観察 2017/10/26 AFMによる注射針の表面微細構造観察(C0493) [SEM]走査電子顕微鏡法
[AFM]原子間力顕微鏡法
医薬品
形状評価
製品調査
安全性試験
AESによるCu表面変色部の評価 2016/12/01 AESによるCu表面変色部の評価(C0451) [AES]オージェ電子分光法
[SEM]走査電子顕微鏡法
[SEM-EDX]エネルギー分散型X線分光法(SEM)
LSI・メモリ
電子部品
製造装置・部品
組成評価・同定
組成分布評価
塗料と基材界面の状態観察 2015/10/15 塗料と基材界面の状態観察(C0391) [SEM]走査電子顕微鏡法
[IP法]Arイオン研磨加工
クライオ加工
日用品
形状評価
膜厚評価
製品調査
導電性塗料中の成分の分析 2015/10/15 導電性塗料中の成分の分析(C0400) [SEM]走査電子顕微鏡法
[FIB]集束イオンビーム加工
クライオ加工
日用品
組成評価・同定
組成分布評価
形状評価
製品調査
燃料電池触媒PtRuの組成評価・形態観察 2015/07/16 燃料電池触媒PtRuの組成評価・形態観察(C0388) [XPS]X線光電子分光法
[SEM]走査電子顕微鏡法
[(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
燃料電池
組成評価・同定
化学結合状態評価
形状評価
劣化調査・信頼性評価
固体高分子燃料電池 触媒材料の形態観察・成分分析 2015/07/09 固体高分子燃料電池 触媒材料の形態観察・成分分析(C0385) [SEM]走査電子顕微鏡法
[(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
[TEM-EDX]エネルギー分散型X線分光法(TEM)
燃料電池
組成評価・同定
組成分布評価
形状評価
劣化調査・信頼性評価
XRD・EBSDによるGaN結晶成長の評価 2015/06/25 XRD・EBSDによるGaN結晶成長の評価(C0384) [SEM]走査電子顕微鏡法
[EBSD]電子後方散乱回折法
[XRD]X線回折法
パワーデバイス
形状評価
構造評価
極低加速電圧条件での微細構造観察 2015/01/22 極低加速電圧条件での微細構造観察(C0336) [SEM]走査電子顕微鏡法
二次電池
形状評価
加工食品中エマルションのクライオFIB-SEM観察 2014/01/16 加工食品中エマルションのクライオFIB-SEM観察(C0327) [SEM]走査電子顕微鏡法
[FIB]集束イオンビーム加工
クライオ加工
食品
形状評価
クライオSEMについて 2014/01/16 クライオSEMについて(B0192) [SEM]走査電子顕微鏡法
クライオ加工
食品
形状評価
三次元SEMによる活物質体積の数値評価 2013/07/25 三次元SEMによる活物質体積の数値評価(C0316) [SEM]走査電子顕微鏡法
[Slice&View]三次元SEM観察法
[FIB]集束イオンビーム加工
クライオ加工
二次電池
形状評価
テクスチャ付きGaN系LEDの元素分布評価 2012/12/06 テクスチャ付きGaN系LEDの元素分布評価(C0248) [SIMS]二次イオン質量分析法
[SEM]走査電子顕微鏡法
[SSDP用加工]基板側からの測定用加工
その他
パワーデバイス
照明
ディスプレイ
微量濃度評価
製品調査
金属ワイヤー中の不純物評価 2012/11/22 金属ワイヤー中の不純物評価(C0265) [SIMS]二次イオン質量分析法
[SEM]走査電子顕微鏡法
[IP法]Arイオン研磨加工
その他
電子部品
その他
微量濃度評価
製品調査
リチウムイオン二次電池 セパレータの評価(FIB加工) 2012/11/08 リチウムイオン二次電池 セパレータの評価(FIB加工)(C0268) [SEM]走査電子顕微鏡法
[FIB]集束イオンビーム加工
クライオ加工
二次電池
形状評価
劣化調査・信頼性評価
リチウムイオン二次電池 電極材料の評価 2012/11/08 リチウムイオン二次電池 電極材料の評価(C0272) [SEM]走査電子顕微鏡法
[SEM-EDX]エネルギー分散型X線分光法(SEM)
[IP法]Arイオン研磨加工
雰囲気制御下での処理
二次電池
組成評価・同定
形状評価
劣化調査・信頼性評価
製品調査
リチウムイオン二次電池 セパレータの評価 2012/11/08 リチウムイオン二次電池 セパレータの評価(C0273) [SEM]走査電子顕微鏡法
[SEM-EDX]エネルギー分散型X線分光法(SEM)
[IP法]Arイオン研磨加工
クライオ加工
二次電池
組成評価・同定
形状評価
膜厚評価
劣化調査・信頼性評価
製品調査
リチウムイオン二次電池 Si負極の評価 2012/11/08 リチウムイオン二次電池 Si負極の評価(C0257) [SEM]走査電子顕微鏡法
[FIB]集束イオンビーム加工
雰囲気制御下での処理
クライオ加工
二次電池
形状評価
劣化調査・信頼性評価
ソフトマテリアルの断面観察と元素分析 2012/07/12 ソフトマテリアルの断面観察と元素分析(C0244) [SEM]走査電子顕微鏡法
[SEM-EDX]エネルギー分散型X線分光法(SEM)
[FIB]集束イオンビーム加工
クライオ加工
化粧品
組成分布評価
形状評価
製品調査
雰囲気制御&冷却下でのSEM分析 2011/06/09 雰囲気制御&冷却下でのSEM分析(B0159) [SEM]走査電子顕微鏡法
雰囲気制御下での処理
クライオ加工
二次電池
バイオテクノロジ
化粧品
日用品
形状評価
製品調査
結晶Si太陽電池のキャリア分布評価 2011/05/26 結晶Si太陽電池のキャリア分布評価(C0214) [SEM]走査電子顕微鏡法
[SCM]走査型静電容量顕微鏡法・[SNDM]走査型非線形誘電率顕微鏡法
その他
太陽電池
形状評価
製品調査
液体中微粒子の構造・分散具合評価 2011/05/12 液体中微粒子の構造・分散具合評価(C0215) [SEM]走査電子顕微鏡法
[FIB]集束イオンビーム加工
クライオ加工
化粧品
形状評価
製品調査
有機薄膜太陽電池活性層の混合状態評価 2010/02/03 有機薄膜太陽電池活性層の混合状態評価(C0164) [SEM]走査電子顕微鏡法
[(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
[TEM-EELS]電子エネルギー損失分光法
太陽電池
組成分布評価
形状評価
リチウムイオン二次電池活物質の元素分析 2010/01/05 リチウムイオン二次電池活物質の元素分析(C0152) [AES]オージェ電子分光法
[SEM]走査電子顕微鏡法
雰囲気制御下での処理
二次電池
組成評価・同定
組成分布評価
リチウム二次電池負極表面の劣化評価 2010/01/05 リチウム二次電池負極表面の劣化評価(C0157) [XPS]X線光電子分光法
[SEM]走査電子顕微鏡法
[SEM-EDX]エネルギー分散型X線分光法(SEM)
[(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
[FIB]集束イオンビーム加工
雰囲気制御下での処理
二次電池
組成評価・同定
化学結合状態評価
形状評価
リチウムイオン二次電池電極の三次元的観察 2010/01/05 リチウムイオン二次電池電極の三次元的観察(C0167) [SEM]走査電子顕微鏡法
[Slice&View]三次元SEM観察法
[FIB]集束イオンビーム加工
二次電池
形状評価
故障解析・不良解析
マイクロサンプリング法 2010/01/01 マイクロサンプリング法(B0004) [SEM]走査電子顕微鏡法
[(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
[TEM-EDX]エネルギー分散型X線分光法(TEM)
[FIB]集束イオンビーム加工
電子部品
太陽電池
照明
ディスプレイ
組成評価・同定
組成分布評価
形状評価
構造評価
故障解析・不良解析

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