SiC Trench MOSFETのトレンチ側壁の粗さ評価(C0555)

デバイス特性に関わるトレンチ側壁の粗さを定量評価

MST技術資料No.C0555
掲載日2020/04/30
測定法・加工法[SEM]走査電子顕微鏡法
[AFM]原子間力顕微鏡法
製品分野パワーデバイス
分析目的形状評価
構造評価
劣化調査・信頼性評価
製品調査

概要

近年、高耐圧デバイスの材料としてSiCが注目されています。Trench MOSFET構造は、素子の高集積化に必要であり、SiCデバイスへの応用展開が進められています。
Trench MOSFET構造のチャネル領域はトレンチ側壁であるためトレンチ側壁の平坦性がデバイスの信頼性に関わってきます。本資料ではSiC Trench MOSFETのトレンチ側壁の粗さについて、AFM(原子間力顕微鏡)を用いて定量的に評価した例を紹介します。
※参考資料:C0554,C0556

データ

サンプル外観

分析結果

図トレンチ表面形状・表面粗さ

ポイント

  • トレンチ側壁の微細構造及びうねりの形状を粗さとして定量的に評価可能です

関連する分析事例

イメージ 掲載日 タイトル 測定法・加工法 製品分野 分析目的
AFM-MAによる食品(ロースハム)の機械特性評価 2021/01/21 AFM-MAによる食品(ロースハム)の機械特性評価(C0644) [AFM]原子間力顕微鏡法
食品
形状評価
製品調査
その他
圧電応答顕微鏡 2021/01/21 圧電応答顕微鏡(A0071) [AFM]原子間力顕微鏡法
電子部品
形状評価
製品調査
液中AFMによるマイカ基板表面の水和構造観察 2020/10/08 液中AFMによるマイカ基板表面の水和構造観察(C0630) [AFM]原子間力顕微鏡法
製造装置・部品
バイオテクノロジ
形状評価
構造評価
PDMSのAFMによる動的粘弾性評価 【AFM-DMA】 2020/10/01 PDMSのAFMによる動的粘弾性評価 【AFM-DMA】(C0629) [AFM]原子間力顕微鏡法
電子部品
製造装置・部品
日用品
製品調査
その他
Xe-PFIBを用いた広域断面のSEM観察 2020/07/16 Xe-PFIBを用いた広域断面のSEM観察(C0610) [SEM]走査電子顕微鏡法
X線CT法
[FIB]集束イオンビーム加工
LSI・メモリ
形状評価
構造評価
製品調査
Xe-プラズマFIBによる構造解析 2020/07/16 Xe-プラズマFIBによる構造解析(B0255) [SEM]走査電子顕微鏡法
[Slice&View]三次元SEM観察法
[EBSD]電子後方散乱回折法
[(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
X線CT法
[FIB]集束イオンビーム加工
その他
LSI・メモリ
形状評価
構造評価
故障解析・不良解析
製品調査
二次電池正極活物質の総合評価 2020/07/09 二次電池正極活物質の総合評価(C0607) [TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法
[ICP-MS]誘導結合プラズマ質量分析法
[SEM]走査電子顕微鏡法
[SEM-EDX]エネルギー分散型X線分光法(SEM)
[EBSD]電子後方散乱回折法
[(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
[XRD]X線回折法
[SSRM]走査型広がり抵抗顕微鏡法
二次電池
組成評価・同定
化学結合状態評価
組成分布評価
形状評価
構造評価
製品調査
二次電池正極の抵抗値およびLiの分布評価 2020/07/09 二次電池正極の抵抗値およびLiの分布評価(C0606) [TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法
[SEM]走査電子顕微鏡法
[SSRM]走査型広がり抵抗顕微鏡法
[IP法]Arイオン研磨加工
二次電池
組成分布評価
形状評価
製品調査
二次電池正極活物質の構造評価 2020/07/09 二次電池正極活物質の構造評価(C0605) [SEM]走査電子顕微鏡法
[EBSD]電子後方散乱回折法
[(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
二次電池
形状評価
構造評価
製品調査
二次電池セパレータの構造評価 2020/07/09 二次電池セパレータの構造評価(C0604) [TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法
[XPS]X線光電子分光法
[SEM]走査電子顕微鏡法
[FT-IR]フーリエ変換赤外分光法
二次電池
組成評価・同定
化学結合状態評価
組成分布評価
形状評価
構造評価
製品調査

分析のご相談・お申し込み

知識豊富な営業担当が、最適な分析プランをご提案。
分析費用のお見積りもお気軽にお問い合わせください。
相談・お申し込みは、専用のフォームかお電話でどうぞ。

webからのお問い合わせはこちら

分析お問い合わせフォーム

お電話からのお問い合わせはこちら

ページトップへ

てむぞう&ますみん

てむぞう&ますみん