SiC Trench MOSFETのトレンチ側壁の粗さ評価(C0555)

デバイス特性に関わるトレンチ側壁の粗さを定量評価

概要

近年、高耐圧デバイスの材料としてSiCが注目されています。Trench MOSFET構造は、素子の高集積化に必要であり、SiCデバイスへの応用展開が進められています。
Trench MOSFET構造のチャネル領域はトレンチ側壁であるためトレンチ側壁の平坦性がデバイスの信頼性に関わってきます。本資料ではSiC Trench MOSFETのトレンチ側壁の粗さについて、AFM（原子間力顕微鏡）を用いて定量的に評価した例を紹介します。

※SiC Trench MOSFET関連資料：ディスクリートパッケージ評価(C0554)
拡散層評価(C0556)

データ

サンプル外観

分析結果

図トレンチ表面形状・表面粗さ

ポイント

トレンチ側壁の微細構造及びうねりの形状を粗さとして定量的に評価可能です

この分析事例のPDFファイルを開く SiC Trench MOSFETのトレンチ側壁の粗さ評価

MST技術資料No.	C0555
掲載日	2020/04/30
測定法・加工法	［SEM］走査電子顕微鏡法［AFM］原子間力顕微鏡法
製品分野	パワーデバイス
分析目的	形状評価構造評価劣化調査・信頼性評価製品調査

関連する分析事例

掲載日	タイトル	測定法・加工法	製品分野	分析目的
2024/04/04	トレンチ型Si-MOSFETの IDSSリーク箇所の複合解析(C0707)	［SEM］走査電子顕微鏡法［SCM］走査型静電容量顕微鏡法・［SNDM］走査型非線形誘電率顕微鏡法［EMS］エミッション顕微鏡法	パワーデバイス	故障解析・不良解析
2023/03/09	バッテリー正極材の活物質抽出およびデータ解析(C0690)	［SEM］走査電子顕微鏡法	太陽電池二次電池燃料電池	形状評価構造評価故障解析・不良解析
2023/03/09	細菌の画像からの細胞周期評価(C0689)	［SEM］走査電子顕微鏡法	バイオテクノロジ医薬品化粧品日用品食品	形状評価製品調査
2022/02/24	ミクロトーム法で作製した毛髪断面の機械特性評価(C0670)	［AFM］原子間力顕微鏡法 [AFM-MA・AFM-DMA]機械特性評価（弾性率測定・動的粘弾性率測定) ウルトラミクロトーム加工その他	バイオテクノロジ化粧品日用品食品	組成分布評価形状評価製品調査その他
2021/08/12	二次電池セパレータの構造評価(C0604)	［TOF-SIMS］飛行時間型二次イオン質量分析法［XPS］X線光電子分光法［SEM］走査電子顕微鏡法［SEM-EDX］エネルギー分散型X線分光法（SEM）［FT-IR］フーリエ変換赤外分光法［XRD］X線回折法［TG-DTA-MS］示差熱天秤-質量分析法［IP法］Arイオン研磨加工雰囲気制御下での処理	二次電池	組成評価・同定化学結合状態評価組成分布評価形状評価構造評価製品調査
2021/02/11	二次電池負極SEI被膜の元素分布評価・化学状態評価(C0645)	［TOF-SIMS］飛行時間型二次イオン質量分析法［XPS］X線光電子分光法［SEM］走査電子顕微鏡法［(S)TEM］（走査）透過電子顕微鏡法［TEM-EELS］電子エネルギー損失分光法雰囲気制御下での処理	二次電池	化学結合状態評価組成分布評価形状評価膜厚評価構造評価製品調査
2021/01/21	AFM-MAによる食品（ロースハム）の機械特性評価(C0644)	［AFM］原子間力顕微鏡法	食品	形状評価製品調査その他
2021/01/21	圧電応答顕微鏡(A0071)	［AFM］原子間力顕微鏡法	電子部品	形状評価製品調査
2020/10/08	液中AFMによるマイカ基板表面の水和構造観察(C0630)	［AFM］原子間力顕微鏡法	製造装置・部品バイオテクノロジ	形状評価構造評価
2020/10/01	PDMSのAFMによる動的粘弾性評価【AFM-DMA】(C0629)	［AFM］原子間力顕微鏡法	電子部品製造装置・部品日用品	製品調査その他