電気特性異常箇所を特定したい

トランジスタの異常箇所を特定します。

[EMS]エミッション顕微鏡法
  • 空間分解能:数um~
  • 半導体素子の酸化膜リーク箇所・ホットキャリア発生箇所を特定します。
[OBIRCH]光ビーム加熱抵抗変動法
  • 空間分解能:数um~
  • 光を当てることによって発生する欠陥箇所の熱により、抵抗が変化することを利用して、異常箇所の特定を行う手法です。
ロックイン発熱解析法
  • 空間分解能:5um~
  • 電流経路中の僅かな温度上昇を検出します。
  • 赤外線を検出するため、非破壊で評価可能です。

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