[EBAC]電子ビーム吸収電流法

概要

吸収電流像(Absorbed Electron Current Image)

照射した電子ビームを試料側で電流として計測し(吸収電流)、走査に同期させて可視化することにより、 吸収電流像を得ることができます。吸収電流像から配線の高抵抗・オープン箇所の特定ができます。

特徴

  • 高抵抗異常箇所の特定可能
  • 配線を流れる電流が微弱(pA)
  • 表面保護膜が存在しても測定可能
  • 多層構造の配線でも測定可能
  • SEM観察とほぼ同条件で測定可能

測定のイメージ

原理

[EBAC]電子ビーム吸収電流法の分析事例はこちらからご覧ください。

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てむぞう&ますみん

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