GDMS導入のお知らせ

グロー放電質量分析計(GDMS)による新サービスを5月より開始しました。
主成分から微量成分まで70元素以上の同時分析が可能です。
「多くの元素を感度よく測りたい!!」というご要望にお応えします。

GDMSサービスの特徴

主成分からppbレベルの微量成分までの70元素以上の同時分析が可能 従来困難であったC,N,Oをppmレベルで検出 nm～数十µm以上の深さ方向分析が可能

分析仕様

GDMSサービス提供の背景

ワイドギャップ半導体材料として用いられるSiCやGaNは耐薬性が高いため完全溶解することができず、化学分析での不純物分析が困難でした。
一方、ワイドギャップ半導体市場が年々増加する中で、多くの元素を感度よく測りたいという分析ニーズも増えてきています。そこで、MSTは前処理を不要とするGDMSを導入し、新たな不純物分析サービスを開始いたします。
また、内製化によるサービスのリニューアルとなりますので、従来より短納期でデータのご報告が可能となります。

GDMSの適用例

• ワイドギャップ半導体分野
  SiC、GaN、Ga2O3中の不純物分析
• バッテリー分野
  リチウム二次電池正極シートの活物質の元素分析
• セラミックス分野
  アルミナパウダーの不純物分析
• 鉄鋼業
  不純物分析による純度評価