SPM関連

[AFM]原子間力顕微鏡法

AFM は、微細な探針で試料表面を走査し、ナノスケールの凹凸形状を三次元的に計測する手法です。

[SCM]走査型静電容量顕微鏡法・
[SNDM]走査型非線形誘電率顕微鏡法

SCM/SNDMは、導電性の探針を用いて半導体表面を走査し、キャリア分布を二次元的に可視化する手法です。

[SMM]走査型マイクロ波顕微鏡法

SMM は、固体金属探針(Pt 製) を用いて計測試料を走査し、その凹凸形状を観察します。同時に、マイクロ波を探針から試料に照射して、その反射応答を計測することで、特に半導体の場合にはキャリア濃度に相関した信号を得ることができる手法です。SMM 信号の強度はキャリア濃度に線形に相関するため、定量性が高いことが特徴です。

[SSRM]走査型広がり抵抗顕微鏡法

SSRM は、バイアスが印加された試料の表面を導電性探針で走査し、抵抗値の分布を二次元的に計測することで探針直下の広がり抵抗を可視化する手法です。
シリコン半導体素子を計測した場合、空間分解能に依存しますが、キャリア濃度1016個/cm3以上に感度があります。

[MFM]磁気力顕微鏡法

MFMは、磁性膜でコートされたプローブを用いて、サンプル表面近傍に生じている漏洩磁場を測定し、磁気情報を得る測定手法です。

[SRA]広がり抵抗測定法

SRAは測定試料を斜め研磨し、その研磨面に2探針を接触させ、広がり抵抗を測定する手法です。SRP(Spreading Resistance Profiling)とも呼ばれます。

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てむぞう&ますみん

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