組成の深さ方向分布を知りたい

[SIMS]二次イオン質量分析法
  • 測定プローブ:イオンビーム
  • イオンビームでスパッタして二次イオンを質量分析、を繰り返して深さ方向に組成を調べます。
    標準試料を用いることで、ppb~ppmの極微量成分の検出・濃度の定量評価が可能です。
[AES]オージェ電子分光法
  • 測定プローブ:電子線
  • 表面からArイオンスパッタをしてAES測定、を繰り返して深さ方向に組成を調べます。
    数atom%以上の成分を検出します。
[XPS]X線光電子分光法
  • 測定プローブ:X線
  • 表面からAr・C60イオンスパッタをしてXPS測定、を繰り返して深さ方向に組成を調べます。
    1atom%以上の成分を検出します。
[SEM-EDX]エネルギー分散型X線分光法(SEM)
  • 測定プローブ:電子線
  • 試料加工を行い断面方向から電子線を入射して測定することで、深さ方向に組成を調べます。
    1atom%以上の成分を検出します。
[RBS]ラザフォード後方散乱分析法
  • 測定プローブ:イオンビーム
  • ラザフォード散乱によって後方に散乱されてくるイオンのエネルギーおよび強度を測定します。
    標準試料を用いずに定量することができます。

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