脱ガス中の成分を知りたい

真空中での加熱や、脱ガス温度のモニターが必要かによって適切な手法が異なります。

[GC/MS]ガスクロマトグラフィー質量分析法
  • 測定温度範囲:室温~800℃
  • 質量範囲目安:m/z 10~800
  • ガスを分離後、質量分析を行います。 有機物の定性・定量に有効です。
[TDS]昇温脱離ガス分析法
  • 測定温度範囲:RT~1200℃ (試料ステージ温度) Siの場合1100℃まで
  • 質量範囲目安:m/z 2~199
  • 加熱・昇温により発生したガスを温度毎にモニターできる手法です。真空雰囲気化での測定が可能です。
[TG-DTA-MS]示差熱天秤-質量分析法
  • 測定温度範囲:室温~1000℃
  • 質量範囲目安:EI:m/z 10~200, PI:m/z 10~410
  • 加熱・昇温により発生したガスを温度毎にモニターできる手法です。加熱によって生じる重量・熱挙動を同時に評価できます。

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てむぞう&ますみん

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