局所的な組成を知りたい

電子線プローブをnmオーダーまで絞って照射して元素を検出することで局所的な組成を測定します。

[AES]オージェ電子分光法
  • 測定プローブ:電子線
  • 測定プローブ径:数十nmφ~
  • B~Uまでの元素を検出可能です。
    測定面の最表面のみの元素を検出します。
[TEM-EDX]エネルギー分散型X線分光法(TEM)
  • 測定プローブ:電子線
  • 測定プローブ径:数nmφ~
  • B~Uまでの元素を検出可能です。 金属元素の検出感度が高い特徴があります。
    TEM装置内のEDX分析を行うことで、数nmレベルの局所領域の組成評価を行うことができます。
[TEM-EELS]電子エネルギー損失分光法
  • 測定プローブ:電子線
  • 測定プローブ径:数nmφ~
  • TEM観察用の薄片試料を測定します。
    EDXと比較すると軽元素の検出感度が高い傾向があります。

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てむぞう&ますみん

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