異物の発生原因を調べたい

異物と正常箇所の元素の組成を測定して比較します。
異物の断面観察は、どの段階で異物が発生したかを調査することに有効です。

[AES]オージェ電子分光法
  • 測定プローブ:電子線
  • 測定プローブ径:数十nmφ~
  • B~Uまでの元素を検出可能です。
    試料測定面の最表面のみの組成を検出します。
[XPS]X線光電子分光法
  • 測定プローブ:X線
  • 測定プローブ径:9umφ~
  • 異物の表面(深さ数nmまで)の元素を検出します。
    領域内の元素の結合状態も合わせて測定できます。
[TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法
  • 空間分解能:nm~
  • 測定プローブ:イオンビーム
  • 測定プローブ径:250nmφ
  • 異物の最表面から出る分子イオンを測定します。
[Raman]ラマン分光法
  • 測定プローブ:レーザー
  • 測定プローブ径:1umφ~
  • ラマン散乱光から、分子の振動モードを調べます。
    ライブラリから該当する分子を同定します。
[FT-IR]フーリエ変換赤外分光法
  • 測定プローブ:赤外光
  • 測定プローブ径:数十um□~
  • 赤外線の吸収スペクトルから、分子の振動モードを調べます。
    ライブラリから該当する分子を同定します。
[SEM]走査電子顕微鏡法
  • 測定プローブ:電子線
  • 空間分解能:0.5nm~
  • 倍率:×30~×300,000
  • 10um以上の大きな異物の構造評価に有効です。
[(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
  • 測定プローブ:電子線
  • 空間分解能:0.1nm~
  • 倍率:×20,000~×5,000,000
  • 数um~数十nmまでの異物の構造調査に有効です。
[SEM-EDX]エネルギー分散型X線分光法(SEM)
[TEM-EDX]エネルギー分散型X線分光法(TEM)
  • 測定プローブ:電子線
  • 測定プローブ径:数nmφ~
  • B~Uまでの元素を検出可能です。
    金属元素の検出感度が高い特徴があります。

[XRF]蛍光X線分析法
  • 測定プローブ:蛍光X線
  • 測定プローブ径:10umφ/1.2mmφ
  • Na~Uまでの元素を検出可能です。

分析のご相談・お申し込み

知識豊富な営業担当が、最適な分析プランをご提案。
分析費用のお見積りもお気軽にお問い合わせください。
相談・お申し込みは、専用のフォームかお電話でどうぞ。

webからのお問い合わせはこちら

お問い合わせフォーム

お電話からのお問い合わせはこちら

ページトップへ

てむぞう&ますみん

てむぞう&ますみん