TOF-SIMS（飛行時間型二次イオン質量分析法）は、極めて高感度な表面分析技術です。
試料の最表面を詳細に解析できるほか、深さ方向の情報取得にも対応し、材料内部の成分分布の把握も可能です。
加えて、イメージングにより成分の空間分布を視覚化できます。
無機・有機物の両方に対応し、半導体、電池、生体材料、有機材料など多様な分野で活用されています。
本冊子が、皆様の効果的かつ正確な研究開発のお役に立てれば幸いです。
TOF-SIMS 分析事例集
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TOF-SIMS 分析事例集
・TOF-SIMSについて
・表面分析（汚染評価）
・表面分析（異物評価）
・深さ方向分析
・生体
・有機材料
・金属・無機材料
・電池
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