電子部品

身の回りの電子機器には圧電素子や振動子など多くの電子部品が使用されており、市場の拡大も期待される分野です。
電子部品の部材評価の分析例を以下に示します。

評価項目	分析手法
構造・形状・寸法	SEM・TEM
不純物の分布・拡散評価	SIMS
異物の成分評価	AES・XPS・TOF‐SIMS・Raman・FT‐IR・SEM‐EDX・TEM‐EDX
表面の変色原因調査	AES・XPS・TOF‐SIMS・SEM‐EDX
表面の化学結合状態評価	XPS・TOF‐SIMS
表面の凹凸評価	AFM・白色干渉計測法
結晶構造評価	XRD・EBSD・ED
脱ガスの分析	GC/MS・TDS
腐食成分の評価	IC

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