- ホーム
- 分析手法一覧
分析手法一覧
MSTの分析手法の詳細情報をまとめました。こちらに記載の無い手法についても、ご相談承ります。
測定法
質量分析法
| SIMS | （二次イオン質量分析法） |
|---|---|
| TOF-SIMS | （飛行時間型二次イオン質量分析法） |
| ICP-MS | （誘導結合プラズマ質量分析法） |
| GC/MS | （ガスクロマトグラフィー質量分析法 ） |
| LC/MS | （液体クロマトグラフィー質量分析法） |
| LC/MS/MS | （液体クロマトグラフィー質量分析法） |
| TDS | （昇温脱離ガス分光法） |
光電子分光法
| XPS | （X線光電子分光法） |
|---|---|
| UPS | （紫外光電子分光法） |
電子顕微鏡観察・分析
| AES | （オージェ電子分光法） |
|---|---|
| SEM | （走査電子顕微鏡法） |
| EBIC | （電子線誘起電流法） |
| EBSD | （電子後方散乱回折法） |
| EDX | （エネルギー分散型X線分光法） |
| EPMA | （電子線マイクロ分析法） |
| TEM | （透過電子顕微鏡法） |
| EELS | （電子線エネルギー損失分光法） |
| SIM | （走査イオン顕微鏡法） |
振動分光
| FT-IR | （フーリエ変換赤外分光法） |
|---|---|
| Raman | （ラマン分光法） |
X線回折関連
| XRD | （X線回折法） |
|---|---|
| SAXS | （X線小角散乱法） |
| XRR | （X線反射率法） |
SPM関連
| AFM | （原子間力顕微鏡法） |
|---|---|
| SCM | （走査型静電容量顕微鏡法） |
| SSRM | （走査型広がり抵抗顕微鏡法） |
そのほかの測定法
| 白色干渉計測法 | |
|---|---|
| TG-DTA-MS,DSC | （熱分析） |
| EMS | （エミッション顕微鏡法） |
| PL | （フォトルミネッセンス法） |
| XRF | （蛍光X線分析法） |
| 放射線測定 |
| 測定法ウィザード |
|---|
あなたにピッタリの測定法をウィザードで探します。 |
加工法・処理法
| FIB法 | （集束イオンビーム加工） |
|---|---|
| SSDP用加工 | （基板側からの測定用加工） |
| IP法 | （Arイオン研磨加工） |
| 雰囲気制御下での処理 | |
| クライオ加工 |
