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層構造を知りたい

試料を加工して断面から観察することで、ご指定箇所の積層構造を測定します。
パターン無しの平坦な積層膜の場合、X線反射率の測定が有効です。

	［SEM］走査電子顕微鏡法測定プローブ：電子線空間分解能：0.5nm～倍率：×30～×300,000 SEMの分析事例はこちら
	［(S)TEM］（走査）透過電子顕微鏡法測定プローブ：電子線空間分解能：0.1nm～倍率：×20,000～×5,000,000 極薄膜（～1nm）の評価まで可能です。 (S)TEMの分析事例はこちら
	［SIM］走査イオン顕微鏡法測定プローブ：Gaイオンビーム空間分解能：4nm～倍率：×30～×30,000 金属多結晶膜のグレイン評価に有効です。 SIMの分析事例はこちら
	［XRR］X線反射率法測定プローブ：X線空間分解能：10mm～30mm□ 検出深さ：数nm～数um 膜厚と密度をシミュレーションで算出します。平坦な表面が必要です。 XRRの分析事例はこちら

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