SIMSによる有機EL素子中不純物の深さ方向分析(C0030)

有機EL素子を深さ方向分解能よく評価

概要

有機EL素子の長寿命化には、エレクトロマイグレーションによる劣化の評価が必要なため、電極金属成分の有機層への拡散の状態を調べることが重要です。しかしながら、陰極側から直接分析しても、陽極側からSSDP法により分析しても、深さ方向分解能が低下し、界面から有機層への拡散を評価することは困難でした。(*SSDP法:裏面側からの分析)
そこで、特殊加工によって、陰極/有機層界面および有機層/陽極界面を露出させ、そこから有機層を分析することにより、有機層中を高い深さ方向分解能で評価することが可能になりました。

データ

MST技術資料No.C0030
掲載日2010/01/01
測定法・加工法[SIMS]二次イオン質量分析法
[SSDP用加工]基板側からの測定用加工
製品分野ディスプレイ
分析目的組成評価・同定
微量濃度評価
組成分布評価

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