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ZnO膜表面の形状観察(C0052)

広域の表面形状観察が可能

概要

走査型白色干渉計（光干渉計）は、試料の表面形状を「高い垂直（Z）分解能（0.1nm）と広い（X-Y）測定視野（50μm～5mm）」で高精度に、非接触3次元測定を行うことが可能です。5mm×5mmの視野まで測定可能です。

データ

サンプルご提供：信州大学　工学部　電気電子工学科　橋本佳男先生

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MST技術資料No.C0052
掲載日2010/10/14
測定法・加工法白色干渉計測法
製品分野電子部品
分析目的形状評価

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