クロスハッチパターンの形状観察(C0051)
高い垂直方向分解能で小さな凹凸を可視化可能
概要
走査型白色干渉計（光干渉計）は、試料の表面形状を「高い垂直（Z）分解能（0.1nm）と広い（X-Y）測定視野（50μm～4.2mm）」で、高精度に非接触3次元測定を行うことが可能です。Si/SiGe積層試料表面（クロスハッチパターン）の形状観察の事例を紹介します。
平均粗さ（Ra）～1nmの形状評価可能です。
データ
サンプルご提供：東京農工大学 大学院 工学教育部 電気電子工学専攻 須田良幸先生
| MST技術資料No. | C0051 |
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| 掲載日 | 2010/10/14 |
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| 測定法・加工法 | 白色干渉計測法
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| 製品分野 | 電子部品
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| 分析目的 | 形状評価
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