揮発性有機化合物（VOC）P&Tによる微量成分の検出(B0217)

GC/MS：ガスクロマトグラフィー質量分析法

概要

揮発性有機化合物（VOC）は、半導体や工業製品の洗浄時に使用され、洗浄用水等に極微量で含まれる可能性があります。水中のVOCは、極微量であっても臭気の原因になることや健康被害を引き起こすことが懸念されることから、環境基準値や排水基準値が定められ、低濃度まで測定可能な手法が必要とされています。本事例では、P&T（パージ&トラップ）で濃縮した成分をGC/MSに導入することによって、水中の微量なVOC成分（サブppbレベル）を検出する事例を示します。

P&T-GC/MS 装置模式図

試料溶液（水）に不活性ガスを通気することにより、揮発性有機化合物を水中から追い出します。
追い出された成分は吸着管に捕集・濃縮されます。その後、吸着管を加熱して着目成分を脱離し、対象成分をGC/MSへ注入します。

データ例

JIS K0102に準じた分析も可能です
吸着管は目的成分にあわせて選択可能です

分析事例の資料を併せてご参照ください
　・水中のカビ臭分析（MST技術資料No.C0364）

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MST技術資料No.	B0217
掲載日	2015/10/01
測定法・加工法	［GC/MS］ガスクロマトグラフィー質量分析法
製品分野	LSI・メモリ電子部品製造装置・部品化粧品日用品食品環境
分析目的	微量濃度評価劣化調査・信頼性評価製品調査安全性試験

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