部材の有機汚染分析(C0636)

TD-GC/MSにより部材に付着した微量の有機汚染を分析します

概要

精密機器や真空装置、半導体製造装置においては、用いられる部材の汚染により製品の品質や装置の安定稼働に悪影響を及ぼすことがあります。本事例では種類の異なる使い捨て手袋でガラス部材を扱い、ガラス部材に付着した有機汚染を発生ガス濃縮装置を用いたGC/MS分析によって分析しました。部材の汚染を評価することで、不具合の原因となる部材の特定や部材汚染の原因の除去、部材変更の検討などに役立てることができます。

データ

MST技術資料No.	C0636
掲載日	2020/12/28
測定法・加工法	［GC/MS］ガスクロマトグラフィー質量分析法
製品分野	製造装置・部品
分析目的	組成評価・同定