GC/MSによる発生ガス濃縮装置を用いたアウトガス分析(B0241)

GC/MS:ガスクロマトグラフィー質量分析法

MST技術資料No.B0241
掲載日2020/05/06
測定法・加工法[GC/MS]ガスクロマトグラフィー質量分析法
製品分野電子部品
製造装置・部品
日用品
分析目的組成評価・同定

概要

発生ガス濃縮装置はチャンバー内に入れた試料から発生したガスを捕集管にトラップさせる装置です。
捕集管にトラップすることで微量の脱ガス成分を濃縮し、GC/MSで高感度に測定できます。試料の種類にあわせて複数のチャンバーから適切なものを選択することができ、最大400℃までの加熱に対応しています。

装置構成

本体

チャンバー

仕様・特徴

特徴

  • 比較的大きいサイズ(数cmオーダー)のサンプルに対応
  • ヘッドスペース法と比較して2~3桁程度感度良く測定が可能
  • ウエハ両面からの有機汚染評価が可能
  • フォトマスク(レチクル)の有機汚染評価が可能
  • ヘキサデカン、デカメチルシクロペンタシロキサンなどを用いた換算定量が可能

仕様

搬入可能サイズ 上記チャンバーに入るサイズ
加熱雰囲気 不活性ガス(N2
加熱条件 室温~最大400℃までの昇温加熱

注意点

  • 低沸点成分は捕集できない場合があります
  • 脱ガス量の多い試料は加熱温度を制限させていただく場合があります

関連する分析事例

イメージ 掲載日 タイトル 測定法・加工法 製品分野 分析目的
液晶ディスプレイの劣化分析 2020/06/25 液晶ディスプレイの劣化分析(C0601) [TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法
[IC]イオンクロマトグラフ法
[GC/MS]ガスクロマトグラフィー質量分析法
[LC/MS]液体クロマトグラフィー質量分析法
[XPS]X線光電子分光法
[SEM]走査電子顕微鏡法
[(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
[AFM]原子間力顕微鏡法
[SMM]走査型マイクロ波顕微鏡法
計算科学・データ解析
ディスプレイ
微量濃度評価
化学結合状態評価
形状評価
構造評価
劣化調査・信頼性評価
消毒用アルコールの成分分析 2020/06/18 消毒用アルコールの成分分析(C0599) [GC/MS]ガスクロマトグラフィー質量分析法
[LC/MS]液体クロマトグラフィー質量分析法
日用品
ウイルス対策関連品
アルコール
製品調査
安全性試験
二次電池電解液の組成評価 2020/06/11 二次電池電解液の組成評価(C0595) [TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法
[ICP-MS]誘導結合プラズマ質量分析法
[GC/MS]ガスクロマトグラフィー質量分析法
二次電池
組成評価・同定
微量濃度評価
化学結合状態評価
製品調査
二次電池正極・負極バインダの成分評価 2020/06/11 二次電池正極・負極バインダの成分評価(C0594) [TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法
[GC/MS]ガスクロマトグラフィー質量分析法
二次電池
化学結合状態評価
製品調査
樹脂から発生する腐食性ガスの分析 2020/05/25 樹脂から発生する腐食性ガスの分析(C0444) [GC/MS]ガスクロマトグラフィー質量分析法
製造装置・部品
組成評価・同定
製品調査
ガスクロマトグラフ-飛行時間型質量分析計 2020/05/13 ガスクロマトグラフ-飛行時間型質量分析計(B0253) [GC/MS]ガスクロマトグラフィー質量分析法
電子部品
製造装置・部品
日用品
組成評価・同定
X線CT・GC/MSによるガラス繊維強化プラスチック(GFRP)の評価 2020/05/06 X線CT・GC/MSによるガラス繊維強化プラスチック(GFRP)の評価(C0582) [TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法
[GC/MS]ガスクロマトグラフィー質量分析法
[XPS]X線光電子分光法
X線CT法
製造装置・部品
バイオテクノロジ
化粧品
日用品
化学結合状態評価
組成分布評価
形状評価
構造評価
劣化調査・信頼性評価
製品調査
GC/MSによる発生ガス濃縮装置を用いたアウトガス分析 2020/05/06 GC/MSによる発生ガス濃縮装置を用いたアウトガス分析(B0241) [GC/MS]ガスクロマトグラフィー質量分析法
電子部品
製造装置・部品
日用品
組成評価・同定
GC/MSによるテープ粘着剤の構造解析 2020/05/06 GC/MSによるテープ粘着剤の構造解析(C0459) [GC/MS]ガスクロマトグラフィー質量分析法
日用品
組成評価・同定
製品調査
GC/MSによるウエハアナライザーを用いた有機汚染評価 2020/05/06 GC/MSによるウエハアナライザーを用いた有機汚染評価(B0230) [GC/MS]ガスクロマトグラフィー質量分析法
製造装置・部品
酸化物半導体
組成評価・同定
微量濃度評価
故障解析・不良解析

分析のご相談・お申し込み

知識豊富な営業担当が、最適な分析プランをご提案。
分析費用のお見積りもお気軽にお問い合わせください。
相談・お申し込みは、専用のフォームかお電話でどうぞ。

webからのお問い合わせはこちら

分析お問い合わせフォーム

お電話からのお問い合わせはこちら

ページトップへ

てむぞう&ますみん

てむぞう&ますみん