MSDM(Mass Spectra Depth Mapping)について(B0221)

TOF-SIMS:飛行時間型二次イオン質量分析法

MST技術資料No.B0221
掲載日2016/03/10
測定法・加工法[TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法
製品分野照明
ディスプレイ
分析目的組成評価・同定
微量濃度評価

概要

TOF-SIMSの深さ方向分析では平面上の位置情報(x,y)を無視すると、各深さ(z)で質量スペクトルが存在するため、深さ・質量・スペクトル強度の3次元データが得られます。この3次元データを1枚の画像として可視化したものが、MSDM(Mass Spectra Depth Mapping)表示です。

詳細

まず、各深さの質量スペクトルを横軸を質量、縦軸をスペクトル強度として、強いピークを白、弱いピークを黒のモノクロバーで表示します。次に、各深さのモノクロバーを連結します。
図1は深さ3点の場合の例です。図1中印で示した質量のスペクトル強度は深くなるほど減少しており、モノクロバーも深さ方向に対して白から黒へと徐々に変化していることがわかります。

図1で連結したイメージを90度回転し、実際の深さ方向へ各点を並べたものが、図2のMSDM表示です。
深さ・質量・ピーク強度を1枚の画像で表すことにより、各深さにおける各質量の強度の大小がイメージしやすくなります。
MSDM表示を利用することで、強度の強い成分の質量スペクトルを抽出する、あるいは、多くの質量が検出されている深さ領域に注目するなどの解析が可能です。

Electronic Journal別冊「2014 有機ELテクノロジー大全」投稿

関連する分析事例

イメージ 掲載日 タイトル 測定法・加工法 製品分野 分析目的
二次電池正極活物質の総合評価 2020/07/09 二次電池正極活物質の総合評価(C0607) [TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法
[ICP-MS]誘導結合プラズマ質量分析法
[SEM]走査電子顕微鏡法
[SEM-EDX]エネルギー分散型X線分光法(SEM)
[EBSD]電子後方散乱回折法
[(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
[XRD]X線回折法
[SSRM]走査型広がり抵抗顕微鏡法
二次電池
組成評価・同定
化学結合状態評価
組成分布評価
形状評価
構造評価
製品調査
二次電池正極の抵抗値およびLiの分布評価 2020/07/09 二次電池正極の抵抗値およびLiの分布評価(C0606) [TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法
[SEM]走査電子顕微鏡法
[SSRM]走査型広がり抵抗顕微鏡法
[IP法]Arイオン研磨加工
二次電池
組成分布評価
形状評価
製品調査
二次電池セパレータの構造評価 2020/07/09 二次電池セパレータの構造評価(C0604) [TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法
[XPS]X線光電子分光法
[SEM]走査電子顕微鏡法
[FT-IR]フーリエ変換赤外分光法
二次電池
組成評価・同定
化学結合状態評価
組成分布評価
形状評価
構造評価
製品調査
斜め加工を用いたMLCCの不純物評価 MLCC:multi-layer ceramic capacitor 2020/06/25 斜め加工を用いたMLCCの不純物評価 MLCC:multi-layer ceramic capacitor (C0608) [TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法
[IP法]Arイオン研磨加工
電子部品
不純物評価・分布評価
液晶ディスプレイの劣化分析 2020/06/25 液晶ディスプレイの劣化分析(C0601) [TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法
[IC]イオンクロマトグラフ法
[GC/MS]ガスクロマトグラフィー質量分析法
[LC/MS]液体クロマトグラフィー質量分析法
[XPS]X線光電子分光法
[SEM]走査電子顕微鏡法
[(S)TEM](走査)透過電子顕微鏡法
[AFM]原子間力顕微鏡法
[SMM]走査型マイクロ波顕微鏡法
計算科学・データ解析
ディスプレイ
微量濃度評価
化学結合状態評価
形状評価
構造評価
劣化調査・信頼性評価
抗菌コート表面の抗菌剤のイメージング分析 2020/06/18 抗菌コート表面の抗菌剤のイメージング分析(C0597) [TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法
日用品
ウイルス対策関連品
微量濃度評価
組成分布評価
製品調査
二次電池電解液の組成評価 2020/06/11 二次電池電解液の組成評価(C0595) [TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法
[ICP-MS]誘導結合プラズマ質量分析法
[GC/MS]ガスクロマトグラフィー質量分析法
二次電池
組成評価・同定
微量濃度評価
化学結合状態評価
製品調査
二次電池正極・負極バインダの成分評価 2020/06/11 二次電池正極・負極バインダの成分評価(C0594) [TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法
[GC/MS]ガスクロマトグラフィー質量分析法
二次電池
化学結合状態評価
製品調査
二次電池正極表面被膜の組成分析 2020/05/21 二次電池正極表面被膜の組成分析(C0588) [TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法
[AES]オージェ電子分光法
[XPS]X線光電子分光法
二次電池
組成評価・同定
化学結合状態評価
組成分布評価
製品調査
X線CT・GC/MSによるガラス繊維強化プラスチック(GFRP)の評価 2020/05/06 X線CT・GC/MSによるガラス繊維強化プラスチック(GFRP)の評価(C0582) [TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法
[GC/MS]ガスクロマトグラフィー質量分析法
[XPS]X線光電子分光法
X線CT法
製造装置・部品
バイオテクノロジ
化粧品
日用品
化学結合状態評価
組成分布評価
形状評価
構造評価
劣化調査・信頼性評価
製品調査

分析のご相談・お申し込み

知識豊富な営業担当が、最適な分析プランをご提案。
分析費用のお見積りもお気軽にお問い合わせください。
相談・お申し込みは、専用のフォームかお電話でどうぞ。

webからのお問い合わせはこちら

分析お問い合わせフォーム

お電話からのお問い合わせはこちら

ページトップへ

てむぞう&ますみん

てむぞう&ますみん