a-Si薄膜太陽電池中のドーパント濃度分布評価(C0233)

対象元素に応じて測定条件を選択

MST技術資料No.	C0233
掲載日	2012/05/03
測定法・加工法	［SIMS］二次イオン質量分析法その他
製品分野	太陽電池
分析目的	微量濃度評価

概要

フレキシブル薄膜Si太陽電池において、a-Si（アモルファスシリコン）中のドーパントの濃度分布を定量的に評価した事例をご紹介します。樹脂で封止されたサンプルを解体し、SIMS分析を行いました。
Bの分析（図3）では表面側の浅い箇所に存在するため、深さ方向分解能を高めて測定を行いました。
Pの分析（図4）ではa-Si中に多量のHが存在して質量干渉を起こすため、高質量分解能法によりH+Siを分離してPのみを検出する条件で測定を行いました。

データ

分析サンプル概要

SIMS分析結果

この分析事例のPDFファイルを開く a-Si薄膜太陽電池中のドーパント濃度分布評価

関連する分析事例

掲載日	タイトル	測定法・加工法	製品分野	分析目的
2021/01/14	毛髪断面の微細構造（S)TEM分析(C0643)	［(S)TEM］（走査）透過電子顕微鏡法［TEM-EDX］エネルギー分散型X線分光法（TEM）ウルトラミクロトーム加工その他	バイオテクノロジ医薬品化粧品日用品	組成評価・同定組成分布評価形状評価膜厚評価
2021/01/14	ネガティブ染色による(S)TEM観察事例(C0642)	［(S)TEM］（走査）透過電子顕微鏡法その他	医薬品化粧品日用品食品	形状評価製品調査
2020/11/26	電子染色を用いた高分子材料の(S)TEM観察(C0640)	［(S)TEM］（走査）透過電子顕微鏡法その他	日用品その他	形状評価その他
2020/07/23	SEMI規格に準拠したステンレス表面不動態膜の評価(C0612)	［AES］オージェ電子分光法［XPS］X線光電子分光法その他	製造装置・部品	組成評価・同定化学結合状態評価組成分布評価膜厚評価
2020/07/23	顔料のダイレクトMS法による同定分析(C0611)	その他	日用品	組成評価・同定製品調査
2020/07/16	Xe-プラズマFIBによる構造解析(B0255)	［SEM］走査電子顕微鏡法［Slice&View］三次元SEM観察法［EBSD］電子後方散乱回折法［(S)TEM］（走査）透過電子顕微鏡法 X線CT法［FIB］集束イオンビーム加工その他	LSI・メモリ	形状評価構造評価故障解析・不良解析製品調査
2020/05/28	全固体電池の分析(C0591)	その他	二次電池	組成評価・同定構造評価
2020/05/06	フコイダン食品規格基準の分析(C0516)	［ICP-MS］誘導結合プラズマ質量分析法［IC］イオンクロマトグラフ法［HPLC］高速液体クロマトグラフ法その他	食品	組成評価・同定製品調査安全性試験
2020/05/06	TOF-SIMS・LC/MS/MSによる三次元培養ヒト皮膚を用いた経皮吸収評価(C0495)	［TOF-SIMS］飛行時間型二次イオン質量分析法［LC/MS］液体クロマトグラフィー質量分析法クライオ加工その他	バイオテクノロジ医薬品化粧品	組成分布評価安全性試験
2020/05/06	低温PL・SIMS分析によるSi基板に含まれる格子間型炭素の評価(C0481)	［SIMS］二次イオン質量分析法［PL］フォトルミネッセンス法	LSI・メモリパワーデバイス電子部品太陽電池	微量濃度評価構造評価故障解析・不良解析