- 測定原理 ： ピンホール共焦点光学系、フォーカスバリエーション
特徴：対物レンズの合焦位置以外からの光を除去できる
- 総合倍率 ： ～28,800倍
- 高さ測定 ： 分解能 0.5nm
測定精度 0.2+L / 100 μm 以下(20倍以上のレンズを使用した場合)
※L ： 測定視野領域幅
測定可能最大高低差：±3.5mm
- 幅測定 ： 分解能 1nm
測定精度 測定値の±2％以内(20倍以上のレンズを使用した場合)
- 最大積載量： 3 kg
- 測定視野 ： 最小 11 ×8.3 μm ～ 最大 7398 × 5545 μm