レーザー顕微鏡による表面形状評価(B0283)

レーザー顕微鏡

レーザー顕微鏡測定(スペック)

  • 測定原理 : ピンホール共焦点光学系、フォーカスバリエーション
  •         特徴:対物レンズの合焦位置以外からの光を除去できる

  • 総合倍率 : ~28,800倍
  • 高さ測定 : 分解能 0.5nm
  •         測定精度 0.2+L / 100 μm 以下(20倍以上のレンズを使用した場合)
            ※L : 測定視野領域幅
            測定可能最大高低差:±3.5mm

  • 幅測定  : 分解能 1nm
  •         測定精度 測定値の±2%以内(20倍以上のレンズを使用した場合)

  • 最大積載量: 3 kg
  • 測定視野 : 最小 11 ×8.3 μm ~ 最大 7398 × 5545 μm

分析事例:IC チップの素子形状評価(データ)


■評価サンプル及び観察データ            ■解析一例(断面解析,面粗さ解析)

MST技術資料No.B0283
掲載日2022/06/09
測定法・加工法その他
製品分野LSI・メモリ
分析目的形状評価

関連する分析事例

イメージ 掲載日 タイトル 測定法・加工法 製品分野 分析目的
新型コロナウイルスゲノム解析 2022/11/24 新型コロナウイルスゲノム解析(C0679) 計算科学・AI・データ解析
その他
バイオテクノロジ
その他
耐候性試験による製品劣化調査 2022/08/11 耐候性試験による製品劣化調査(C0676) その他
耐候性試験
光デバイス
電子部品
太陽電池
照明
ディスプレイ
日用品
劣化調査・信頼性評価
製品調査
安全性試験
レーザー顕微鏡による表面形状評価 2022/06/09 レーザー顕微鏡による表面形状評価(B0283) その他
LSI・メモリ
形状評価
ミクロトーム法で作製した毛髪断面の機械特性評価 2022/02/24 ミクロトーム法で作製した毛髪断面の機械特性評価(C0670) [AFM]原子間力顕微鏡法
[AFM-MA・AFM-DMA]機械特性評価(弾性率測定・動的粘弾性率測定)
ウルトラミクロトーム加工
その他
バイオテクノロジ
化粧品
日用品
食品
組成分布評価
形状評価
製品調査
その他
量子化学計算による有機分子のNMR化学シフトシミュレーション 2021/07/29 量子化学計算による有機分子のNMR化学シフトシミュレーション(C0654) [NMR]核磁気共鳴分析
計算科学・AI・データ解析
その他
医薬品
化粧品
日用品
食品
化学結合状態評価
構造評価
RPA運用支援サービス 2021/07/15 RPA運用支援サービス(B0268) その他
その他
その他
AI技術を用いたCT画像のアーチファクト低減 2021/07/01 AI技術を用いたCT画像のアーチファクト低減(C0653) X線CT法
計算科学・AI・データ解析
その他
LSI・メモリ
電子部品
製造装置・部品
日用品
形状評価
構造評価
in situ X線CTを用いた引張試験による金属材の構造変化観察 2021/04/29 in situ X線CTを用いた引張試験による金属材の構造変化観察(C0649) その他
製造装置・部品
日用品
その他
形状評価
構造評価
応力・歪み評価
故障解析・不良解析
劣化調査・信頼性評価
製品調査
三次元培養ヒト皮膚を用いた皮膚透過性評価 2021/03/25 三次元培養ヒト皮膚を用いた皮膚透過性評価(C0647) [TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法
[HPLC]高速液体クロマトグラフ法
[LC/MS]液体クロマトグラフィー質量分析法
クライオ加工
その他
バイオテクノロジ
医薬品
化粧品
食品
微量濃度評価
組成分布評価
構造評価
製品調査
安全性試験
固体試料表面の質量分析法の使い分け 2021/03/11 固体試料表面の質量分析法の使い分け(B0266) [TOF-SIMS]飛行時間型二次イオン質量分析法
その他
照明
ディスプレイ
製造装置・部品
バイオテクノロジ
医薬品
化粧品
日用品
食品
組成評価・同定
化学結合状態評価
組成分布評価

分析のご相談・お申し込み

知識豊富な営業担当が、最適な分析プランをご提案。
分析費用のお見積りもお気軽にお問い合わせください。
相談・お申し込みは、専用のフォームかお電話でどうぞ。

webからのお問い合わせはこちら

分析お問い合わせフォーム

お電話からのお問い合わせはこちら

ページトップへ