金属ワイヤー中の不純物評価(C0265)

SEMと同等の視野で大気成分などの不純物の面内分布を可視化

MST技術資料No.C0265
掲載日2012/11/22
測定法・加工法[SIMS]二次イオン質量分析法
[SEM]走査電子顕微鏡法
[IP法]Arイオン研磨加工
その他
製品分野電子部品
その他
分析目的微量濃度評価
製品調査

概要

SIMS分析はウエハや基板以外にも様々な形状の試料に適用可能です。本事例では、ワイヤー中の不 純物分布を評価した事例をご紹介します。
ワイヤー側面から深さ方向に不純物分布を評価した結果(図2)H、O、F、S、Clなどの不純物プロファイル には深さに応じて強弱があり、ワイヤー中に局在していることが示唆されます。ワイヤー断面の元素マッピングを行った結果(図3)ワイヤー中に不純物が局在している様子を確認することができました。

データ

元素分析装置では評価が難しい水素や、ppmレベルの不純物に対し、SIMS分析では面内分布情報を評価することが可能です。

分析領域の大きさで空間分解能が変動致しますのでまずはお気軽にご相談下さい。

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