最表面シラノール基の評価(C0377)
TOF-SIMSでシラノール基の定量的な評価が可能です
概要
5か月間に渡りシラノール換算値の異なる各サンプルをTOF-SIMSにて測定後、切片が0となるように検量線を作成。長期における実験でも、ばらつきの少ない検量線が引けています。
データ
検量線
5か月間に渡りシラノール換算値の異なる各サンプルをTOF-SIMSにて測定後、切片が0となるように検量線を作成。長期における実験でも、ばらつきの少ない検量線が引けています。
【参考情報】PDMSの影響について
表面はPDMSで汚染されていることが多々あります。TOF-SIMSの「シラノール基相当のフラグメント」を用いた結果は、PDMSの影響を受けにくい値の算出が可能です。
測定例
ガラス・Siウエハ・シランカップリング剤(HMDS)で処理したSiウエハの各表面シラノール基を分析しました。ガラス表面にはシラノール基相当が最も多くなりました。
SiウエハをHMDS処理すると、未処理のSiウエハと比較し値が低いことがわかります。