結晶Si太陽電池の不純物評価(C0213)

金属元素および大気成分元素の極微量分析

MST技術資料No.C0213
掲載日2011/05/26
測定法・加工法[SIMS]二次イオン質量分析法
[ICP-MS]誘導結合プラズマ質量分析法
その他
製品分野太陽電池
分析目的微量濃度評価
製品調査

概要

結晶Si太陽電池の基板成長からセル形成までの各工程で必要とされている不純物量制御のための評価法として、高感度分析による元素濃度測定をご提案します。金属元素はppb以下、Hを含む大気成分元素についてはppm以下の濃度まで計測可能です。

データ

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